85
показателями по технологичности и прочности обладает вольфрамовая
проволока диаметром около 13 мкм.
На рисунке вольфрамовая проволока (подложка) протягивается через
камеру подающим и наматывающим приводами и нагревается электрическим
током до нужной температуры. Ртуть обеспечивает электрический контакт и
служит газовым затвором. Перед камерой осаждения подложка очищается и
обезгаживается. Газ нужного состава подается под избыточным
давением в
камеру осаждения, где на нагреваемой подложке осаждается бор. Если
необходимо, рабочие камеры можно соединить последовательно в
многокамерную установку и получить многослойный осажденный слой бора.
Концентрация ВСl
3
в смеси ВСl
3
-Н
2
не играет определяющей роли при
получении непрерывных борных волокон. Действительно, скорость роста и
прочности волокон бора, получаемых из смесей с содержанием 10-60 мол%
ВСl
3
оставались почти неизменными. Решающее значение, оказывает по-
видимому, температура осаждения. Установлено, что при низких
температурах (980С) скорость осаждения бора слишком мала. Вместе с тем
осадждение при высоких температурах (1260-1315С) часто соправождается
ростом крупных кристаллитов на отдельных участках поверхности волокон.
Эти крупнокристаллические участки гораздо менее прочны, чем соседние
части волокон
.
Бор, осажденный из паровой фазы, может существовать в одной из
нескольких структурных модификаций. Структурная модификация
конкретной партии волокна зависит главным образом от выбора
газообразных реагентов и температуры осаждения. Борное волокно
максимальной стабильной прочности имеет так называемую «аморфную»
(микрокристаллическую) структуру. Температурный интервал формирования
данной структуры довольно ограничен. Поэтому для получения структурно
однородного материала необходим строгий контроль температуры.
Известные из литературы данные об интервалах температур осаждения
различных форм бора не всегда согласуются между собой. Это, по-видимому,
объясняется тем, что структура осажденного материала сильно зависит от
природы и степени чистоты газообразного реагента. «Аморфный» бор можно
осадить из ВСl
3
при аномально высоких температурах и чрезвычайно малом
времени взаимодействия между газами – реагентами. Наоборот, в
температурном интервале нормального образования «аморфного» бора
можно получить -ромбическую модификацию кристаллического бора либо
путем введения небольшой добавки HCl в газообразные реагенты, либо
путем возвращения продуктов реакции разложения в нагретую зону. В
настоящее время нет полной ясности
в понимании кинетики реакции
образования волокна.
Для других реагентов, например BI
3
и B
2
H
6
, механизм реакции и
параметры осаждения носят, по-видимому, еще более сложный характер.
Диаметр борного волокна, получаемого по стандартной технологии из
треххлористого бора, составляет 76-127 мкм. Пребывание волокна в камере