Керметы – металлодиэлектрическая композиция с неорганическим
связующим. Они предназначены для изготовления тонкопленочных резисторов.
Достоинства – широкое варьирование их удельного сопротивления. В
толстопленочной микроэлектронике применяются для изготовления
проводниковых, резистивных и емкостных элементов.
Наибольшее распространение получила микрокомпозиция Cr – SiO,
тонкие пленки которые получают методом термического испарения и
конденсации в вакууме с последующей термообработкой для стабилизации
свойств. При этом образуется фаза C
23
Si
В толстопленочных МС используют резисторы, получаемые на основе
композиции стекла с палладием (Pd) и серебро. Стекло размалывают до размера
зерен 3 – 5 мкм, смешивают с порошком серебра и Pd, вспомогательной
органической связкой и растворителем. Получаемую пасту наносят на
керамическую подложку методом трафаретной печати и спекают при t 500…
1000С.
Резистивные пасты на основе окислов металлов. Обычно окислители
металлов являются диэлектриками. Однако при неполном окислении и при
введении некоторых примесей проводимость окислов резко повышается. Такие
материалы можно использовать в качестве контактных и резистивных слоев.
Например двуокись олова SuO
2
. В электронике она используется в виде тонких
пленок, получаемые вакуумным испарением и конденсацией. Такие пленки
имеют сильное сцепление с подложкой керамической или стеклянной кроме
того, такие пленки усойчивы ко многим химическим средам – разрушаются
только плавиковой кислотой. Ценное свойство – высокая прозрачность в
видимой и инфракрасной части спектра. Поэтому применяются в
электровакуумных приборах для покрытия внутрених стенок стеклянных
баллонов, жидкокристаллических индикаторах, преобразовательных и
усилительных изображениях.
Аналогичны свойства пленки окиси индия Jn
2
O
3
.
Сопротивление проводников на высоких частотах.
На высоких частотах наблюдается неравномерное распределение
электрического тока по сечению проводников: плотность тока максимально на
поверхности и убывает по мере проникновения в глубь проводника. Это
явление называется поверхностным эффектом или скинэффектом.
Неравномерное распределение тока объясняется действием магнитного
поля того же проводника. Сцепленный с проводом магнитный поток
пропорционален току: