толщиной
10 и
30 мкм
располаталу|
ме)кду молибденом
и крем-
нием.
Анализ
ьл|1яния
параметров
сварки на
г|рочность
непосред_
ственного
соединения
молибдена с
кремнием
показь|вает'
что
при пони'(ении
температурь|
сварки
даннь1х
материалов
требуется
повь1шать
}А€а]ьнФ€
усилие
с)катия
по гиперболическому
закону.
Ёи>ке
температурьт
850" с
(0,6т:;)
с
увеличением
давления
до
35
кгс/мм2 и
продолх{ительности сварки
до
60 мин
дифф}_
3!{онное
соединение
не
образуется.
Аля
соединения
молибдена,
гальванически
покрь]того
серебром'
с чисть1м
кремнием
ни}княя
темпер]турная
граница
пони)кается
до
400'с
(^'0,3т:;).
[!ри
те:лпературе
ни>ке
400'€
с
увеличением
давления
до
20 кгс/мшц2
1т'
вь1дерх{ки
до
60
мин
диффу3ионного
соединения
не
образуется.
']аким
образом,
удельнь1е
ус14лия
с}катия
до
35 кгс/мм2
и
продол'{ительность
вь|дер>кки
до
60
мин
(вакуум в сваронной
камере 5.10_4 мм
рт.
ст.) не
ока3ь1вают
существенного
влияния
на
получение
диффузионньтх
соединений
чисть!х
и покрь|ть1х
серебром
материалов
при поних(еннь1х
температурах
(соответ_
ственно
0,6т;; и 0,3г*).
Б этом интервале
температур
мала
амплитуда
тепловь|х колебаний атомов
для
со3дания
монолитного
соединения'
на
поверхностях соединяемь1х
ш1атериалов
остаются
еще слои окислов'
прочно свя3аннь1е
с
металлами
и препятству-
ющие
взаимной
диффузии
атомов.
|1ри'менение серебряного
покрь1тия |та
мо'1ибдене
интенсифи-
цирует
диффузионнь1е
процессь1 на
соединяемь1х
поверхностях
деталей'
что по3воляет
пони3ить
температуру
сварки
в 2
раза,
а
удельнь]е усилия
с)катия
_
в
3
раза.
||рименение
пластичного
слоя
ме}кду молибденом и
кремнием
в
виде
серебра
толщиной
6-8
мкм исключает
возмо)кность появления
трещин.
Ёанесение
серебряного
покрь1тия
толщиной
до
8 мкм либо
на
молибден, ли6о на
кремний сушественной
ра3ниць|
не
имеет.
|{анесение серебра на
соединяемь1е
материаль[
химическим
или
гальваническим путеп{
такх(е
не
влияет на
параметрь1
сварки.
Б
слуяае
покрь1тия серебром
одновременно
молибдена
и кремния
удельное усилие
существенной
роли
не
играет
при
поних{ении
температурьт с
830'
до
500" €,
так как соеди1{ение
проходит 3а
счет
взаимной
диффузии
серебра.
||рименение серебряной
фольги
толщиной
10 мкм
требует
более и|{тенсивного
увеличения
удель-
ного
усилия
сх(ат11я
при пони)кеь]ии
температурь1 сварки.
|!ри
нагреве
соединяемь1х
материалов
вь11ше
температурь|
в30" с образуется
эвтектика
ме}кду серебром
и кремние1!|,
в
ре-
зультате чего
полупроводниковь1е
кристалльт
проплавляются
на
3начительную
глубину
и
со3дается
угро3а
нару11]ения
р-п
лере-
хода.
1ермическая активация
при
температуре
400'с
(о,зт!],)
да>ке
бьтстродиффундирующих
атомов серебра недостаточна,
нтобь|
преодолеть потенциальньтй
барьер
мех{ду
у3лами
кристалличе_
260
ской
ретпетки
и образовать монолитное
соединение.
€
поних<ением
температурБт сварки необходимо
увеличивать
продол)|(ительность
сварки
по аналогичному
гиперболинескому
закону.
в
процессе механических
испьттаний
на отрь1в прочное
дифузионное
соединение
ра3ру1палось
по
кремнию. ||ри_
менение
серебряного
покрь|тия
и
фольги увеличивает
проч-
ность соединения
по
сравне1{ию
с чистьтм
молибденом
и
крем-
нием.
.}{акетьт
дисков'
полученнь]е
по
оптимальнь]м
рех(имам
диффу-
зионной
сварки'
вь1дер}|{али
пятикратное
термоциклирование:
из камерь| с
температурой
+300'
€
свареннь1е
детали
переносили
в
другую
камеру
с температурой
-196'
€, вьтдерх<ка 20 мин.
3то свидетельствует о прочном
соединении элементов
полупровод_
1|иковь1х
приборов.
}1еталлографинеский анали3
3он соединения
чисть1х кристал_
лов кремния и
молибдена
(см.
рис.
|!-39)
показал' что переходная
3о!1а состоит
и3
силицгтдов молибдена (предполох{ительно
/!1о5|),
твердь!х
растворов
кремния
в молибдене
и
силицидах. 3та зона
имеет микротвердость в 1,5-1'6
раза
вь]]'ше'
чем микротвердость
чистого молибдена.
||ри температуре сварки
свь|1пе
830"
с кремний
с
посеребрен-
ньтм
молибденом и посеребренг:ьтй
кремний
с молибденом обра-
3уют !1а
контактирующих
поверхностях эвтектический
слой,
толщина которого
незначительна' потому что
сх{имающее
усилие'
пр|.{кладь1ваемое
во
время
сварки'
вь1тесняет
ли|шнюю эвтектику
и3-под торцов,
создавая
на боковьтх поверхностях молибдена
эвтектическую полоску.
}1икроструктура
зонь| соединения кремния
с
молибденом,
покрь1тьтм
серебром
(см.
рис.
п-40)' пока3ь1вает' что в
3оне нет
силицидов. €еребро плохо
растворяется
в твердом кремнии'
поэтому микротвердость переходной
3онь1
увеличивается
незна-
чительно
(на 10-200/о)
по
сравне!;ию с микротвердостью исход-
ного
молибдена.
€
помощью
диффузионной
сварки бьтли
собраньт
элементь|
полупроводниковь1х
диодов'
которь1е прошли стендовь1е испь1та-
|1ия 14 показали
наде}кную
работоспособность.
€войства
сварнь]х соединений
ра3нороднь1х
материалов
опре-
деляются
свойствами и
размерами
диффузионной
зоньт. Анализ
диаграмм
состояния
пока3ь|вает,
нто больгпинство
металлов
с крем-
нием обра3уют интерметаллические
соединения.
Бинарньте
си_
стемь1
кремния
с
рядом
элементов
(А1,
А9, Ат;,
7п, 5п,
€6 и
др.)
образуют
соединения
эвтектического
типа с
ограниченной взаим-
ной
растворимостью.
|{редставителем
первой
группьт бь:л
вьтбрап
вольфрам, имеющий
с
кремнием
6лизкие 3наче1]ия
коэффициен_
тов
температурного
рас1пирения'
а представителем
второй
-
алюминий.
|!еред сваркой пластинь!
монокристаллического кремния тол_
щиной
0,4_0,8 мм подвергали
тплифованию
с
последующим
хи-
677
26\