дичности
И
дефектов
кристаллических
решеток.
для
работы
обыч
ными
методами
(суспензий,
реплик
и
дI!.)
чаще
Iфименяются
IфИ
борЫ
1I
и
111
класса.
Ряд
цpe~eCTB
(большее
поле
зрения,
ВОЗМОЖНОСТЬ
изуч е
ния
массивНЫJC
об:раэцов
и
дI>.)
,
по
сравнению
с
традиционным
ЭJlехтрою1ЫМ
ПJ)освеЧliваdlUЩ
микроскопом.
имеет
р
а
С т
р
о-
J"'ИС.
11.
ПРИJlШUfИвпъпвя
схеМА
устроl\С7lЮ
Х8Нuрующеro
элект
РОНIIОГО
МllКJЮCкопа
1 -
II
СТt)Ч
НИfl\
электронаn!
2 -
БНОД;
3
н
~
-
порuвя
н
втuрая
J«()ЩJСlIсор"ые
Л1t1f
З
bl;
5 -
объек
"ИDII8Я
Л1lllза;
6 -
ОТJ(ЛОIIЯКAJjие
Kl.l1
УШКlI;
7 -
->бр.аэеu;
8 -
.ЦС?
TCtl.l
·01')
Ptl'ОР
l
tЧl
lЫ
Х
Э
.'1('>J(ТfJOIIОD
;
~
)
-
Эl!сКТ}Х)lШО-ЛУ'ICООSf
TpyGX8
Б
Н
Й
(о
к
а н
и
р
у
ю
Щ
и
й)
электронный
микро
с
к
О п.
В
этом npИборе
изображе
ние
ФОDМИPуется
тонким пучкОМ
(электронным
зондом).
перемеЩ811r
щимся
по
поверхно
ст и
образца и
"вн6иваЮЦUU4"
из
него
вторичные
электроны
,
которые
и
создают
изо-
6ражение.
В
настоящее
время
созда
ны
специальные
приспособления,
ПОЗВОЛFЮщие
npoецировать
это
изо
бражение на
телеэкран,
чт
о
днет
возможность
фотографИIЮБаТЬ
раз
ные
ч
а
сти
исследУемого
06ъекта.
Растровый
ЭJlектронный
МЮфо
скоп
БЫJl
сконструирован
в
конце
ЗО-Х
годов
.
К
npосвечивающему
электронному
микроскопу
БЫJlИ
до-
6аманы
отмоняnцие
катушки
(рис.!I),
обеспечиваuцис
передви
жение
(сКанирование)
сфокусиро:вaJf
ного
пучка
по
поверхности
образца.
Следует
отметить,
что
в
раст-
ровом
электронном
микроскопе
для
характеристики
исследУемого
объек
та
можно
использ
овать
не
ТОJlЬКО
вторичные
электроны
,
но и
другие
сигналы,
получаемые
npи
бомбарди
ровке
вещества
электронным
пучко~
6
~
-
(отрааеmше
8J.
~
К'l'POЮl.
поглощеmше
эJlектроны.
Хapa.I<'I'ерио'l'И
ческое
реиttеиовокое
И8J1Y'1ение,
R8'l'ОДOJUМlИеоцеНЦИl)
и
др.,
ом.
рио.~.
на
цринци:пе
сканирупцего
эл&к'I'1>ORНОГО
мr.кpoскоП8
Оh~НО'I'PУИРОВены
ре~еновокие
микpoaнaJlИЗ8'1'ОРЫ,
црименяeмuе
для
локального
определения
соотава
образцов
о
помощЬЮ
peнt'
геновоких
опек~е~ров.
В
эмиосионных
электронных
w
И к
р
о
о
к
'
пах
изобрааение
C08Д8J)'1'
электроны,
ис-
пускаемые
самим
объектом,
Эти
ми!фоокоIJы
применяися
Д11Я
изучения
разJlичных
яв.леНИЙ,
ва6Jщцaемых
на
поверхноо'l'И
1oIе
TaJ1JlOB
и
их
СМaIIOв.
О'l'ражательнне
8леК'I'роииые
м
и
к
р
о о
к
о
п
н
ИСDOJlЬЗую!СЯ
для
формирования
изобрв
хеRИII
пучком
ЭJlектроиов,
пaдaDItИX
под
небо.l1ЬDIИМ
угло"!
к
по
верхноо'l'И
Обрвзца
И
оrpuеиннх
н~одинаково
различными
ern
учаотками.
ЭrО'l'
'l'Вn
мккроокопов
дает
возМOJВОО~Ь
непоо~т
венко
наб.uщa'l'Ь
ПОБе11XJЮ01'Ь
нецр()эрачних
образцов
JJ
Q.
aoro
ЦI>ИМ;'чяеrся
ЦI»t
ИОOJl8ДОвавии
цроводниковше
И
ПOJlYцpOводнико
вше
МЗ'l'еpиa.nов.
б.4.
Ме!'ОДЪ!
ЭJJ.ектроИИo-tllllфOокоnических
иоследований
Исол~о:ванил
под
8ле~JUIНМ
.
миiФocкопом
подr
....
зд(l11ЯJ)'l'сR
на
две
ооновине
группн:
ЦРRЩiе
J(
косвенны
е
.
К
II];IЯМIA!
методам,
с
помощью
KOt'opыx
ИОOJlе.цуется
сам
.
МИRераJl~
-
О'l'НООЯ!'СЯ:
метод
суопензий,
метод
TORКIX
мe'l'~ec~
ПJlенок
и
М8'1'од
уль~
'l'ОНКИХ
срезов.
С
помошъю
коовенных
методов
и
зyq~СЯ
·
О'1'пе
ча'l'КИ
о
поверХНОС'l'И
образцов,
называемые
реIlJ1ИК8МИ.
.
В
завиСИМОО'l'И
от
вида
оБЪекта
·
и
метода
ИСОJlедоВ8НИn
цри
меwmтся
раЗlШе
методики
IфИГO'1'овления
(црепарИI>ОВания)
06-
разцов,
которые
предоцреде.l1ЯDТ
название
методов
.
М
е т
о
Д
с
у
с
n
е
н
.
з
и
й
6bl.11
первым
методом
элеКТРОЮIо-микроскоnическоro
исследования
в
~шн
ералогии.
он
ШИI>око
Iфимеияется
и в
наС!'OЯlЦее
время
ЦIJИ
изученv.и минеI>В-
65 -