Физические параметры полупроводниковых материалов приведены в табл. 1.
Удельное сопротивление тонких металлических пленок (толщина которых соизмерима с длиной свободного
пробега электрона) больше удельного сопротивления исходного металла и зависит от толщины и способа
получения пленок. Оценивают проводящие свойства тонких пленок по удельному поверхностному
сопротивлению (сопротивлению квадрата R1
П
), равному сопротивлению участка пленки, длина которого равна
его ширине при прохождении тока через две его противоположные грани параллельно поверхности подложки
R
п
=р
б
/б,где Р
б
— удельное (объемное) сопротивление пленки толщиной 6.
Удельное сопротивление сплавов больше удельного сопротивления исходных компонентов. Увеличение р
происходит при введении в металл неметаллических примесей, а также при сплавлении двух металлов,
образующих твердый раствор, в котором атомы одного металла входят в кристаллическую решетку другого.
Таблица 1
Металл
Плотность,
Мг/м
3
Темпера,
тура плавле-
ния, °С
Удельное
сопротив-
ление,
мкОм-м
Температур-
ный коэффи-
циент удель
сопро-
тивления.
Работа
выхода,
эВ
Алюминий 2,7 660 0,0265 4,1 4,25
Вольфрам 19,3 3400 0,055 5,0 4,54
Железо 7,87 1540 0,097 6,25 4,31
Золото 19,3 1063 0,0225 3,95 4,3
Кобальт 8,85 1500 0,064 6,0 4,41
Медь 8,92 1083 0,0168 4,3 4,4
МолибдеЕ! 10,2 2620 0,05 4,33 4,3
Никель 8,96 1453 0,068 6,7 4,5
Олово 7,29 232 0,113 4,5 4,38
Платина 21,45 1770 0,098 3,9 5,32
Ртуть 13,5 — 39 0,958 0,9 4,52
Свинец 11,34 327 0,190 4,2 4,0
Серебро 10,49 961 0,016 4,1 4,3
Хром 7,19 1900 0,13 2,4 4,58
Цинк 7,14 419 0,059 4,1 4,25
Технические проводниковые материалы подразделяют на материалы высокой проводимости, металлы и
сплавы различного назначения, сплавы высокого сопротивления, проводящие модификации углерода и
материалы на их основе.
Материалы высокой электрической проводимости. К наиболее распространенным материалам высокой
электрической проводимости относят медь и алюминий (см. табл. 1).
Медь обладает малым удельным сопротивлением, высокой механической прочностью, удовлетворительной
стойкостью к коррозии, легко паяется, сваривается и хорошо обрабатывается, что позволяет прокатывать ее в
листы, ленту и вытягивать в проволоку.
В качестве проводникового материала используется медь марок Ml и МО. В марке Ml содержится 99,9 %
чистой меди, а в общем количестве примесей (0,1 %) кислород составляет до 0,08 %« Лучшими механическими
свойствами обладает вторая марка, в которой содержится 99,95% меди, а в составе примесей (0,05%) имеется до
0,02 % кислорода. Лучшая бескислородная медь содержит 99,97 % чистого вещества, а вакуумная
(выплавленная в вакуумных индукционных печах) — 99,99. %. Твердотянутую медь, полученную методом
холодной протяжки, используют, когда необходима высокая механическая прочность, а мягкую (отожженную)
— когда важна гибкость, например для изготовления монтажных проводов и шнуров. Электровакуумная медь
идет на изготовление деталей электронных приборов. Медь используется также для изготовления
фольгированного гетинакса, а в микроэлектронике — для получения токопроводящих пленок на подложках,
обеспечивающих соединение между функциональными элементами схемы. Наиболее употребительные марки
обмоточных проводов приведены в табл. 2.
Таблица 2
Марка провода Характеристика изоляции Диаметр провода, мм
ПЭЛ Эмалевая лакостойкая 0,02 — 2,44
ПЭВ-1
Эмалевая с одинарным и двойным винифлексовым
покрытием
0,06 — 2,44
ПЭЛБО Эмалевая лакостойкая с одним сло- 0,2-2,1
ем хлопчатобумажной обмотки