31
этих частиц они, с некоторой вероятностью, могут оказаться по дру-
гую сторону барьера. Механизм туннелирования показан на рис. 1.27,
где приведена энергетическая диаграм-
ма перехода, в котором возможен дан-
ный тип пробоя. Электроны из валент-
ной зоны p-области туннелируют через
потенциальный барьер на свободные
уровни в зону проводимости n-области.
Этот поток электронов создает большую
величину обратного туннельного тока в
отличие от небольшого обратного тока
неосновных носителей заряда.
Условия реализации туннельного
пробоя следующие: 1) узкий обратно-
смещенный p-n-переход, чтобы длина волны электрона была соизме-
рима с шириной перехода; 2) наличие свободных разрешенных энер-
гетических уровней в зоне туннелирования
∆ε
Т
(взаимное соответст-
вие энергетических уровней в обеих областях структуры, так как тун-
нелирование происходит без изменения энергии); 3) напряженность
электрического поля внутри перехода должна превосходить некото-
рое критическое значение.
Ширина области объемного заряда уменьшается с ростом концен-
трации примесей, а напряженность поля в переходе возрастает, по-
этому туннельный пробой происходит в структурах с сильно легиро-
ванными p- и n-областями. С ростом напряженности поля увеличива-
ется также наклон энергетических зон (см. рис. 1.27). В свою очередь
ширина потенциального барьера L определяется электрическим по-
лем, т.е. наклоном энергетических уровней. Следовательно, условия
туннелирования возникают только при определенной напряженности
поля, т.е. определенной величине обратного напряжения.
Лавинный пробой определяется эффектом лавинного размноже-
ния носителей заряда в широком p-n-переходе в результате ударной
ионизации. Если ширина области объемного заряда превышает длину
свободного пробега, то неосновные носители заряда, попадая внутрь
перехода, ускоряются, набирают достаточную энергию для ионизации
атома. В результате ударного взаимодей-
ствия с нейтральным атомом происходит
разрыв валентных связей с образованием
дополнительной пары электрон-дырка. Но-
вые носители заряда участвуют в даль-
нейшей ионизации, т.е. процесс носит ла-
винообразный характер (рис. 1.28). Для
материалов с большей шириной запре-
д
E
p
n
Рис. 1.28
ε
c
ε
v
∆ε
T
L
Рис. 1.27