Андриевский Р.А., Рагуля А.В. Наноструктурные материалы

Подождите немного. Документ загружается.

íèòðèäà òèòàíà, ñîñòàâëÿåò 0,42 íì, ïîìåùàþòñÿ âñåãî âîñåìü

) ýëåìåíòàðíûõ ÿ÷ååê, ò. å. â äàííîì ñëó÷àå ìîæíî ãîâîðèòü î

ñâîåîáðàçíûõ êëàñòåðíî-êîíñîëèäèðîâàííûõ ìàòåðèàëàõ.

Â ìíîãîñëîéíûõ íàíîñòðóêòóðíûõ ïëåíêàõ (èõ íàçûâàþò òàêæå

ñâåðõðåøåòêàìè è õàðàêòåðèçóþò øàãîì L  ñóììîé òîëùèí èí-

äèâèäóàëüíûõ ñëîåâ) ìîæíî íàáëþäàòü ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèå ñëîè

â ñëó÷àå õîðîøåãî (êîãåðåíòíîãî) ñîïðÿæåíèÿ ïàðàìåòðîâ êðèñ-

òàëëè÷åñêèõ ðåøåòîê (ñì. ðèñ. 2.1, ä ). Ýòî ïðèìåð òàê íàçûâàåìîãî

ïîñëîéíîãî ðîñòà ïëåíîê ïî ìåõàíèçìó ÔðàíêàÂàí äåð Ìåðâå.

Ìîðôîëîãè÷åñêèå îñîáåííîñòè îñòðîâêîâîãî ìåõàíèçìà ðîñòà

ïëåíîê ïðè îòñóòñòâèè êîãåðåíòíîñòè ìåæäó ïëåíêîé è ïîäëîæ-

êîé (ìåõàíèçì ðîñòà ïëåíîê ïî Ôîëüìåðó  Âåáåðó) îò÷åòëèâî

ïðîñëåæèâàþòñÿ ïðè èññëåäîâàíèè èçëîìîâ ñ ïîìîùüþ ñêàíèðó-

þùåãî ýëåêòðîííîãî ìèêðîñêîïà (ðèñ. 2.1, â) è ïîâåðõíîñòè ñ

èñïîëüçîâàíèåì àòîìíî-ñèëîâîãî ìèêðîñêîïà (ðèñ. 2.1, ã). Íàêî-

íåö, êîìáèíèðîâàííûé ìåõàíèçì ðîñòà ïëåíîê ïî Ñòðàíñêîìó

Êðàñòàíîâó âûÿâëÿåòñÿ ïðè èñïîëüçîâàíèè âûñîêîðàçðåøàþùåãî

ÏÝÌ, êàê ýòî âèäíî íà ïðèìåðå ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ãåòåðîñòðóê-

òóð íà îñíîâå èíäèé-ãàëëèåâîãî àðñåíèäà. ×åòûðåõóãîëüíûå âêëþ-

÷åíèÿ  ýòî «êâàíòîâûå òî÷êè» (àòîìíûå îñòðîâêè, â ïðåäåëàõ

êîòîðûõ ïðèðîäà íîñèòåëåé îñòàåòñÿ ïîñòîÿííîé), ðàñïîëîæåííûå

ìåæäó ñëîÿìè àðñåíèäà ãàëëèÿ (ñì. ðèñ. 2.2). Ïîäðîáíåå î êâàíòîâûõ

òî÷êàõ è ìåõàíèçìàõ ðîñòà ïëåíîê ñì. ïîäðàçä. 3.2, 4.3.

Èçìåðåíèå ðàçìåðà ñòðóêòóðíûõ ñîñòàâëÿþùèõ íàíîìàòåðèà-

ëîâ îñóùåñòâëÿåòñÿ ýëåêòðîííî-ìèêðîñêîïè÷åñêèìè ìåòîäàìè ñ

ïîìîùüþ èçîáðàæåíèé ïðÿìîãî ðàçðåøåíèÿ (ñì. ðèñ. 2.1, à, ä;

2.2) è òåìíîïîëüíûõ èçîáðàæåíèé ñ êîìïüþòåðíîé îáðàáîòêîé

ðåçóëüòàòîâ èçìåðåíèé äëÿ ìàññèâîâ, ñîäåðæàùèõ îáû÷íî íå ìå-

íåå 10002000 êðèñòàëëèòîâ (ðèñ. 2.7). Ïðè èçìåðåíèè ðàçìåðîâ

çåðåí, à òàêæå ðàçìåðîâ ÷àñòèö, âêëþ÷åíèé è ïîð ïðèíÿòî îöå-

íèâàòü ñëåäóþùèå ïàðàìåòðû: ñðåäíèé äèàìåòð ýòèõ îáúåêòîâ ïî

èõ ÷èñëó L

, ñðåäíèé ëèíåéíûé äèàìåòð L

, ñðåäíèé äèàìåòð ïî

ïîâåðõíîñòè (èëè äèàìåòð ýêâèâàëåíòíîé îêðóæíîñòè) L

è ñðåä-

íèé äèàìåòð ïî îáúåìó (èëè äèàìåòð ýêâèâàëåíòíîé ñôåðû) L

()/ ,

()/(),

niii

liiii

siiii

ii ii

LLnn

LLnLn

åå

(2.2)

ãäå n  ÷èñëî çåðåí èëè äðóãèõ îáúåêòîâ i-ãî ðàçìåðíîãî êëàññà.

Ñîîòíîøåíèÿ (2.2) ïîëó÷åíû äëÿ ýëåìåíòîâ ñôåðè÷åñêîé ôîðìû.