Учебное пособие. — Москва: МАИ, 2001. — 48 с.
Рассматриваются конструкции интегральных датчиков, включающие
микромеханические кремниевые чувствительные элементы и
микроэлектронные преобразователи деформации в электрический сигнал.
Приведены основы методики расчета интегральных датчиков давления.
Подробно рассмотрены специфические технологические процессы
формообразования кремниевых упругих чувствительных элементов,
создания на их поверхности интегральных электронных структур,
процессы сборки и контроля интегральных датчиков давления.
Работа предназначена для обучения студентов приборостроительных специальностей факультета "Системы управления, информатика, электроэнергетика летательных аппаратов" и может использоваться для курсового и дипломного проектирования. Также будет полезна аспирантам и инженерам, углубляющим свои знания в области современного приборостроения.
Работа предназначена для обучения студентов приборостроительных специальностей факультета "Системы управления, информатика, электроэнергетика летательных аппаратов" и может использоваться для курсового и дипломного проектирования. Также будет полезна аспирантам и инженерам, углубляющим свои знания в области современного приборостроения.