Кн. 4: Информационная технология в проектировании сканеров зондовых
микроскопов. М.: Издательство ГНУ НИИ ПМТ, 2011. - 251 с.
Рассмотрены основные вопросы создания системы поддержки принятия
рациональных решений при проектировании сканеров зондовых
микроскопов, имеющей существенное значение для автоматизации
проектирования устройств и модулей электронного машино- и
приборостроения, микро- и наноэлектронной техники. Предложенный
подход позволяет принимать научно обоснованные, технически
целесообразные, технологически и экономически выгодные решения с
целью последующего совершенствования известных и создания новых
сканирующих зондовых микроскопов и их элементной базы.
Книга предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся информационными технологиями в проектировании объектов электронного машиностроения, в том числе проектированием сканеров для зондовых микроскопов и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению 210100 – «Электроника и наноэлектроника».
Книга предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся информационными технологиями в проектировании объектов электронного машиностроения, в том числе проектированием сканеров для зондовых микроскопов и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению 210100 – «Электроника и наноэлектроника».