Угай Я.А. Введение в химию полупроводников

Учебное пособие для вузов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высшая школа, 1975. — 302 с.: ил. В книге изложены основы химии полупроводников, включая представления о зонах валентной проводимости, природе химической связи, нарушении стехиометрического состава и фазовых свойствах полупроводников, а также физико-химический анализ полупроводниковых систем. Описаны методы получения поли- и монокристаллов полупроводниковых материалов, их химические, физико-химические, электрические и оптические свойства. Наряду с элементарными полупроводниками (германием, кремнием и др.) подробно исследуются многочисленные бинарные полупроводниковые соединения, а такж: некристаллические полупроводники (стеклообразные и жидкие). Обсуждены современные методы очистки и контроля чистоты полупроводниковых материалов, а также рассмотрены процессы травления полупроводников. Предисловие.
Введение.
Физико-химические основы полупроводников
Общие сведения о полупроводниках.
Электропроводность металлов.
Элементы зонной теории.
Металлы, изоляторы, полупроводники.
Статистика электронов в полупроводниках.
Температурная зависимость электропроводности.
Закон действия масс.
Химическая связь в полупроводниках.
Механизм собственной и примесной проводимости.
Дефекты.
Краткие характеристики некоторых физических свойств.
Получение, очистка, контроль чистоты полупроводников
Особочистые вещества и монокристаллы.
Методы получения полупроводниковых материалов.
Методы очистки.
Равновесный и эффективный коэффициент распределения.
Методы вытягивания Чохральского.
Зонная перекристаллизация.
Методы концентрирования примесей и определения чистоты полупроводников.
Элементарные полупроводники
Химическая классификация полупроводников.
Получение и очистка германия.
Физические и химические свойства германия.
Металлохимические свойства.
Некоторые электрофизические свойства германия.
Получение и очистка кремния.
Физические и химические свойства кремния.
Некоторые электрофизические свойства кремния.
Серое олово.
Алмаз и графит.
Селен и теллур.
Бор.
Полупроводниковые соединения типа A^III B^V
Общая характеристика.
Антимонид алюминия.
Антимонид галлия.
Антимонид индия.
Арсенид алюминия.
Арсенид галлия.
Арсенид индия.
Фосфид алюминия.
Фосфид галлия.
Фосфид индия.
Другие соединения типа A^III B^V.
Обзор соединений типа A^III B^V.
Полупроводниковые оксиды и халькогениды
Окись меди (I).
Окись цинка.
Оксиды переходных металлов.
Оксиды простых металлов.
Халькогениды металлов подгруппы цинка.
Халькогениды элементов подгруппы германия.
Халькогениды элементов подгруппы мышьяка.
Халькогениды алюминия, галлия и индия.
Халькогениды других металлов.
Другие бинарные полупроводниковые соединения
Соединения A^I B^V.
Соединения A^II B^IV.
Соединения A^II B^V.
Антимониды переходных металлов.
Силициды и карбиды.
Физико-химический анализ полупроводников
Способы изображения макро- и микроучастков диаграмм состояния.
Изобарические сечения Р-Т-х-диаграмм.
Проекции Р-Т-х-диаграмм.
Проекции Р—Т—х-диаграмм с двумя летучими компонентами.
Методы построения Р—Т—х-диаграмм.
Непрерывные твердые растворы элементарных полупроводников.
Непрерывные твердые растворы соединений A^III B^V.
Непрерывные твердые растворы соединений A^II B^VI.
Другие системы с полным изовалентным замещением.
Полное гетеровалентное замещение.
Новый тип полного гетеровалентного замещения.
Другие системы с неограниченными твердыми растворами.
Некристаллические полупроводники
Аморфное, стеклообразное и кристаллическое состояние вещества.
Критерии стеклообразования.
Неорганические стеклообразователи.
Халь-когенидные стекла.
Свойства оксидных стекол.
Жидкие полупроводники.
Травление полупроводников
Способы травления.
Природа процессов травления.
Количественная характеристика травления.
Состав травителей.
Травление элементарных полупроводников германия и кремния.
Травление германия в кислотном травителе СР-4
Травление полупроводниковых соединений типа A^III B^V.
Электрохимическое травление.
Практическое использование различий картин травления.
Литература
Предметный указатель