Пер. с англ. М.: Клинрум, 2004. -360с, табл.46, ил.
134. Книга является сборником материалов, написанных известными экспертами по контролю микрозагрязнений и технологической чистоте. Кратко изложены основные понятия техники чистых помещений, их история, дан подробный обзор стандартов по чистым помещениям. Уделено внимание особенностям проектирования помещений для микроэлектроники, мед. техники и т. д.
134. Книга является сборником материалов, написанных известными экспертами по контролю микрозагрязнений и технологической чистоте. Кратко изложены основные понятия техники чистых помещений, их история, дан подробный обзор стандартов по чистым помещениям. Уделено внимание особенностям проектирования помещений для микроэлектроники, мед. техники и т. д.