Пер. с английского. — М.: Мир, 1985. — 501 с., ил.
В книге американских специалистов рассматриваются методы введения
примесей в полупроводники, выращивания эпитаксиальных пленок.
Излагаются теория и свойства диодов, биполярных и полевых
транзисторов. Подробно описываются процессы производства
интегральных схем и их испытания.
Для специалистов в области электронной техники и студентов соответствующих специальностей вузов.
Для специалистов в области электронной техники и студентов соответствующих специальностей вузов.