В пособии рассмотрены вопросы теоретической интерпретации зондовых
измерений для определения параметров низкотемпературной плазмы.
Основное внимание уделяется зондовым измерениям в неподвижной
плазме низкого, высокого и промежуточных давлений при отсутствии
магнитного поля. Приводятся рекомендации для практического
определения параметров плазмы при различных условиях. Материал
проиллюстрирован графиками и таблицами. Пособие предназначено для
студентов 4 курса специальности «Физическая электроника»
01.04.04. ПетрГУ,
1997. 60 с
01.04.04. ПетрГУ,
1997. 60 с