Второе издание 13/04/2004 (перевод на русский язык 18/10/2004). —
FEI Company, 2004. — 282 с.
Содержание
Предисловие
Как пользоваться данным руководством
Содержание
Список иллюстраций
Список таблиц
Техника безопасности
Соответствие международным нормам безопасности
Безопасность
Требования к помещению
Землетрясения
Обучение сервисного персонала
Обслуживание, выполняемое пользователем
Сообщения
Пиктограммы
Безопасное отключение оборудования (Lockout / Tagout)
Управление опасными энергиями
Электроника/Электрические напряжения
Работа с источниками напряжений
Блокировки
Аварийное отключение (EMO)
Сетевое напряжение
Кабели и провода
Питание колонны
Измерительные провода
Земля (заземление)
Защитные крышки / кожухи
Предохранители
Запасные части
Компоненты, чувствительные к электростатическому разряду
Радиация
Рентгеновская безопасность
Статическое магнитное поле
Химикаты
Инертные газы
Другие газы
Material Safety Data Sheets (MSDS) - сведения по безопасности
материалов (СПБМ)
Утилизация и повторное использование
Прочие предосторожности
Электрические вентиляторы
Механические перемещения
Выхлоп из помп
Коррозия
Защита окружающей среды
Замена масла в помпах
Долив жидкого азота (для анализатора EDAX)
Обозначения на микроскопе
Общие сведения о системе
Возможности микроскопа Quanta
Как работает РЭМ Quanta
Визуализация и ввод изображения
Вакуумная система
Позиционирование столика объектов
Компоненты микроскопа Quanta
Программные элементы управления
Аппаратные элементы управления
Системная панель управления
Управление столиком
Инфракрасная ПЗС камера
Дополнения микроскопа Quanta
Вакуумная система
Вакуумная система микроскопа Quanta
Состояние вакуума
Откачка
Режимы вакуума
Ручной клапан (EB)
Высокий вакуум
Режимы низкого вакуума и ESEM
Продувка
Состояния микроскопа Quanta
Процедура запуска
Процедура выключения
Аварийное выключение (EMO)
Пользовательский интерфейс
Элементы пользовательского интерфейса
Иконки
Выпадающие меню
Радиокнопки и отметки
Диалоги
Командные кнопки
Списки
Регуляторы
Двумерные регуляторы
Диалоги с закладками
Помощь
Программа xT microscope Server
Блоки Состояние сервера и UI (Пользовательского интерфейса)
Программа xT microscope Control
Активное окно
Заголовок
Настройки (Ctrl + O)
Строка данных
Панель инструментов
Панель меню
Страницы и блоки
Элементы, присутствующие на всех страницах
Страница Запуск
Блок Вакуум / Режим
Блок Колонна
Блок Управление источником
Блок Детекторы
Страница Работа
Блок Столик
Страница Подстройки
Блок Получение изображения
Блок Улучшение изображения
Страница Юстировки
Блок Юстировки
Страница Управление температурой (дополнительная)
Блок Термостолик
Управление доступом
Элементы управления
Администраторы учётных записей FEI
Меню File
Меню Account
Меню Userdata
Меню Help
Регистрация подключений
Мышь и клавиатура
Использование мыши
Использование клавиатуры
Работа с микроскопом
Подготовка образцов
Необходимые компоненты
Естественные образцы
Покрытые образцы
Установка образца
Ввод / замена образца
Получение изображения
Предварительные операции
Выбор режимов вакуума
Получение изображения на экране
Оптимизация изображения
Принцип получения изображений
Увеличение
Скорость сканирования и фильтрация
Контраст и яркость
Фокусировка
Коррекция астигматизма
Размер пятна
Смешение изображений от двух детекторов
Типы детекторов и их применение
Детектор Эверхарта-Торнли (ЭТД)
Газовый детектор вторичных электронов (GSED)
Детектор большого поля зрения (LFD)
Конусы ограничивающих диафрагм (PLA)
Пробой между газовыми детекторами и образцом
Рентгеновский анализ для различных режимов вакуума
Высокий вакуум
Естественная среда и GSED
Естественная среда с LFD и рентгеновским конусом
Захват и обработка одного кадра
Кнопки Однократный снимок / Приостанов
Фильтрация
Сохранение / открытие / печать
Сохранение многих изображений (запись фильма)
Закладка Фильм диалога Настройки
Процедура записи фильма
Создатель фильма
Просмотр фильма
Установка настроек
Закладки диалога настройки
Закладка Ест.среда
Закладка Строка данных
Закладка Единицы
Закладка Предустановки
Закладка Скан
Закладка Общее
Закладка Язык
Закладка Фильм
Юстировки
Насыщение нити накала для вольфрамовых систем
Подготовка
Процедура
Юстировки микроскопа с вольфрамовым катодом
Рекомендации по выполнению корректирующих смещений по Х и Y
Общие кнопки
Юстировка тетрода
Юстировка пушки
Юстировка конденсора
Юстировка объективной линзы
Юстировка стигматора
Окончательная проверка
Центровка столика
Центрирование диафрагмы
Столики
Типы столиков и аксессуары
Столик 50 x 50 мм (4-ёх координатный) для Quanta 200
Столик 50 x 50 мм (5-ти координатный) для Quanta 200
Эвцентрическая высота
Столик 100 x100 мм для Quanta 400
Столик 150 x150 мм для Quanta 400
Функции программного управления
Закладка Карта
Закладка Координаты
Закладка Коррекция наклона
Функции, относящиеся к столику объектов
Перемещения столика
Выравнивание объекта
Получение изображения держателя
Смещение пучка
Механизм фиксации
Поворот скана (Shift + F12)
Обслуживание
Обзор процедур чистки
Список применяемых чистящих средств
Очищаемые детали колонны
Материалы и способы чистки
Доступ к колонне
Вскрытие колонны
Закрытие колонны
Катод: Венельт и нить накала
Компоненты
Снятие катодного узла
Смена нити накала
Чистка электрода Венельта и шайбы фиксации катода
Установка нити и электрода Венельта
Регулировка положения нити
Установка катодного узла
Анодный узел
Компоненты
Снятие вытягивающего электрода
Чистка вытягивающего электрода
Установка вытягивающего электрода
Снятие анодного узла
Установка анодного узла
Диафрагмы и направляющая трубка колонны
Компоненты
Извлечение трубки
Чистка платиновых диафрагм
Установка диафрагмы A в держатель
Позиционирование диафрагм в трубке
Чистка трубки
Установка трубки
Стандартный сепаратор
Извлечение и разборка
Чистка корпуса
Газовые детекторы
Чистка GSED и LFD
Чистка GBSD
Обслуживание столика
Механика столика
Держатели образцов
Наполнение резервуара с водой
Дополнительное оснащение
Ручной пульт управления (РПУ)
Дополнительные детекторы
Газовый детектор обратно-рассеянных электронов (GBSD)
Обратно-рассеянный детектор (BSD) и газовый аналитический детектор (GAD)
Термостолики
Термостатирующий столик на эффекте Пелтье
Установка термостатирующего столика
Управление термостатирующим столиком
Термостолики для нагрева
1000 °C термостолик
1500 °C термостолик
Установка термостолика
Замена нагревательного элемента
Прекращение работы с термостоликами
Управление температурой
Изменение единиц температуры
Элементы блока
Термостолики - основные операции и характеристики
Использование термостолика с детектором BSED
Использование термостолика с детекторами EDX
Получение изображений образцов на термостолике 1500 °C
Устранение неполадок термостолика на 1500 °C
Дополнительный набор держателей для образцов
Система ориентации
Адаптер к устаревшему варианту столика
Переходник
Множественные держатели
Полированные чашки
Зажимные держатели
Крестовые отвёртки
Предисловие
Как пользоваться данным руководством
Содержание
Список иллюстраций
Список таблиц
Техника безопасности
Соответствие международным нормам безопасности
Безопасность
Требования к помещению
Землетрясения
Обучение сервисного персонала
Обслуживание, выполняемое пользователем
Сообщения
Пиктограммы
Безопасное отключение оборудования (Lockout / Tagout)
Управление опасными энергиями
Электроника/Электрические напряжения
Работа с источниками напряжений
Блокировки
Аварийное отключение (EMO)
Сетевое напряжение
Кабели и провода
Питание колонны
Измерительные провода
Земля (заземление)
Защитные крышки / кожухи
Предохранители
Запасные части
Компоненты, чувствительные к электростатическому разряду
Радиация
Рентгеновская безопасность
Статическое магнитное поле
Химикаты
Инертные газы
Другие газы
Material Safety Data Sheets (MSDS) - сведения по безопасности
материалов (СПБМ)
Утилизация и повторное использование
Прочие предосторожности
Электрические вентиляторы
Механические перемещения
Выхлоп из помп
Коррозия
Защита окружающей среды
Замена масла в помпах
Долив жидкого азота (для анализатора EDAX)
Обозначения на микроскопе
Общие сведения о системе
Возможности микроскопа Quanta
Как работает РЭМ Quanta
Визуализация и ввод изображения
Вакуумная система
Позиционирование столика объектов
Компоненты микроскопа Quanta
Программные элементы управления
Аппаратные элементы управления
Системная панель управления
Управление столиком
Инфракрасная ПЗС камера
Дополнения микроскопа Quanta
Вакуумная система
Вакуумная система микроскопа Quanta
Состояние вакуума
Откачка
Режимы вакуума
Ручной клапан (EB)
Высокий вакуум
Режимы низкого вакуума и ESEM
Продувка
Состояния микроскопа Quanta
Процедура запуска
Процедура выключения
Аварийное выключение (EMO)
Пользовательский интерфейс
Элементы пользовательского интерфейса
Иконки
Выпадающие меню
Радиокнопки и отметки
Диалоги
Командные кнопки
Списки
Регуляторы
Двумерные регуляторы
Диалоги с закладками
Помощь
Программа xT microscope Server
Блоки Состояние сервера и UI (Пользовательского интерфейса)
Программа xT microscope Control
Активное окно
Заголовок
Настройки (Ctrl + O)
Строка данных
Панель инструментов
Панель меню
Страницы и блоки
Элементы, присутствующие на всех страницах
Страница Запуск
Блок Вакуум / Режим
Блок Колонна
Блок Управление источником
Блок Детекторы
Страница Работа
Блок Столик
Страница Подстройки
Блок Получение изображения
Блок Улучшение изображения
Страница Юстировки
Блок Юстировки
Страница Управление температурой (дополнительная)
Блок Термостолик
Управление доступом
Элементы управления
Администраторы учётных записей FEI
Меню File
Меню Account
Меню Userdata
Меню Help
Регистрация подключений
Мышь и клавиатура
Использование мыши
Использование клавиатуры
Работа с микроскопом
Подготовка образцов
Необходимые компоненты
Естественные образцы
Покрытые образцы
Установка образца
Ввод / замена образца
Получение изображения
Предварительные операции
Выбор режимов вакуума
Получение изображения на экране
Оптимизация изображения
Принцип получения изображений
Увеличение
Скорость сканирования и фильтрация
Контраст и яркость
Фокусировка
Коррекция астигматизма
Размер пятна
Смешение изображений от двух детекторов
Типы детекторов и их применение
Детектор Эверхарта-Торнли (ЭТД)
Газовый детектор вторичных электронов (GSED)
Детектор большого поля зрения (LFD)
Конусы ограничивающих диафрагм (PLA)
Пробой между газовыми детекторами и образцом
Рентгеновский анализ для различных режимов вакуума
Высокий вакуум
Естественная среда и GSED
Естественная среда с LFD и рентгеновским конусом
Захват и обработка одного кадра
Кнопки Однократный снимок / Приостанов
Фильтрация
Сохранение / открытие / печать
Сохранение многих изображений (запись фильма)
Закладка Фильм диалога Настройки
Процедура записи фильма
Создатель фильма
Просмотр фильма
Установка настроек
Закладки диалога настройки
Закладка Ест.среда
Закладка Строка данных
Закладка Единицы
Закладка Предустановки
Закладка Скан
Закладка Общее
Закладка Язык
Закладка Фильм
Юстировки
Насыщение нити накала для вольфрамовых систем
Подготовка
Процедура
Юстировки микроскопа с вольфрамовым катодом
Рекомендации по выполнению корректирующих смещений по Х и Y
Общие кнопки
Юстировка тетрода
Юстировка пушки
Юстировка конденсора
Юстировка объективной линзы
Юстировка стигматора
Окончательная проверка
Центровка столика
Центрирование диафрагмы
Столики
Типы столиков и аксессуары
Столик 50 x 50 мм (4-ёх координатный) для Quanta 200
Столик 50 x 50 мм (5-ти координатный) для Quanta 200
Эвцентрическая высота
Столик 100 x100 мм для Quanta 400
Столик 150 x150 мм для Quanta 400
Функции программного управления
Закладка Карта
Закладка Координаты
Закладка Коррекция наклона
Функции, относящиеся к столику объектов
Перемещения столика
Выравнивание объекта
Получение изображения держателя
Смещение пучка
Механизм фиксации
Поворот скана (Shift + F12)
Обслуживание
Обзор процедур чистки
Список применяемых чистящих средств
Очищаемые детали колонны
Материалы и способы чистки
Доступ к колонне
Вскрытие колонны
Закрытие колонны
Катод: Венельт и нить накала
Компоненты
Снятие катодного узла
Смена нити накала
Чистка электрода Венельта и шайбы фиксации катода
Установка нити и электрода Венельта
Регулировка положения нити
Установка катодного узла
Анодный узел
Компоненты
Снятие вытягивающего электрода
Чистка вытягивающего электрода
Установка вытягивающего электрода
Снятие анодного узла
Установка анодного узла
Диафрагмы и направляющая трубка колонны
Компоненты
Извлечение трубки
Чистка платиновых диафрагм
Установка диафрагмы A в держатель
Позиционирование диафрагм в трубке
Чистка трубки
Установка трубки
Стандартный сепаратор
Извлечение и разборка
Чистка корпуса
Газовые детекторы
Чистка GSED и LFD
Чистка GBSD
Обслуживание столика
Механика столика
Держатели образцов
Наполнение резервуара с водой
Дополнительное оснащение
Ручной пульт управления (РПУ)
Дополнительные детекторы
Газовый детектор обратно-рассеянных электронов (GBSD)
Обратно-рассеянный детектор (BSD) и газовый аналитический детектор (GAD)
Термостолики
Термостатирующий столик на эффекте Пелтье
Установка термостатирующего столика
Управление термостатирующим столиком
Термостолики для нагрева
1000 °C термостолик
1500 °C термостолик
Установка термостолика
Замена нагревательного элемента
Прекращение работы с термостоликами
Управление температурой
Изменение единиц температуры
Элементы блока
Термостолики - основные операции и характеристики
Использование термостолика с детектором BSED
Использование термостолика с детекторами EDX
Получение изображений образцов на термостолике 1500 °C
Устранение неполадок термостолика на 1500 °C
Дополнительный набор держателей для образцов
Система ориентации
Адаптер к устаревшему варианту столика
Переходник
Множественные держатели
Полированные чашки
Зажимные держатели
Крестовые отвёртки