М.: Вузовская книга, 1998. — 392 с.
Рассмотрены основные физические процессы, вызываемые бомбардировкой
ионами поверхности твердых материалов: потери энергии в упругих и
неупругих столкновениях ионов с атомами мишени; пробеги и
распределение энергии и внедренных ионов по глубине; гигантское
усиление миграции атомов в металлах под действием высокоинтенсивных
(50-200 А/см^) наносекундных (50-100 нс) ионных пучков с энергией
300 кэВ; образование и рост приповерхностных слоев с выделениями
новых фаз; отражение ионов и их энергии от поверхности металлов;
ионно-электронная эмиссия; излучение фотонов различными
материалами; ионное распыление свыше 70 элементов; образование
вспучиваний (блистеринг) и шелушение (флэкинг) поверхности
металлов.
Приведены закономерности изменения коэффициентов эмиссии электронов, фотонов и атомов от различных параметров, характеризующих ион и атом мишени. Изложены механизмы и теории, описывающие названные процессы, которые происходят в многочисленных ионных, ионно-плазменных, электровакуумных приборах и установках. Проведено сравнение теоретических значений коэффициентов распыления для многих элементов с экспериментальными данными. Потери энергии и пробег ионов в твердых веществах
Общие сведения
Экспериментальные данные о потери энергии ионов в веществах
Потери энергии в упругих и неупругих соударениях ионов с атомами твердого тела
Основы теории пространственных распределений выделенной энергии, дефектов и пробегов ионов в твердых веществах
Сечение упругого рассеяния атомов
Неупругое торможение ионов и атомов
Пробеги и распределение энергии и внедренных ионов по глубине твердых веществ при ионной имплантации
Влияние на пространственное распределение имплантированных ионов кристаллической структуры твердого тела и параметров облучения
Теория внедрения атомов с учетом диффузии, распыления и градиента температуры
Гигантское усиление миграции атомов в металлах под действием, высокоинтенсивных (40-200 А/см“) наносекундных ионных пучков
Образование и рост приповерхностных слоев с выделениями новой фазы при ионной имплантации
Пороговая энергия эффекта «дальнодействия» при ионной имплантации
Взаимодействие мощных импульсных пучков ионов с твердыми веществами
Компьютерное моделирование ионного распыления, торможения и распределения внедрившихся ионов по глубине твердых материалов
Технологические возможности ионной имплантации металлов с энергией 10-50 МэВ
Список литературы к главе 1
Отражение (рассеяние) ионов от поверхности твердого тела
Коэффициенты отражения атомных частиц и их энергии
Зарядовое состояние отраженных поверхностью атомных частиц
Энергетические спектры отраженных ионов и атомов
Влияние состояния поверхности на рассеяние атомных частиц
Список литературы к главе 2
Ионно-электронная эмиссия
Ионно-электронная эмиссия поликристаллов и аморфных веществ
Зависимость коэффициента гамма (у) от скорости ионов
Зависимость коэффициента у от энергии ионов
Зависимость коэффициента ионно-электронной эмиссии от угла падения ионов
Энергетическое распределение вторичных электронов
Список литературы к главе 3
Излучение фотонов при ионной бомбардировке
Ионолюминесценция
Ионно-фотонная эмиссия
Непрерывное оптическое излучение из зоны воздействия ионных пучков
Список литературы к главе 4
Ионное распыление
Закономерности процесса физического распыления металлов ионами
Формулы для расчета коэффициентов распыления
Распыление углеситалла и боросодержащих графитов
Список литературы к главе 5
Вспучивание и шелушение поверхности (блистеринг и флекинг)
Общие сведения
Основные закономерности блистеринга и флекинга
Теория и модели механизма блистеринга
Радиационная эрозия конструкционных материалов
Модель разрушения приповерхностного слоя ионами
Факторы, определяющие величину радиационной эрозии
Влияние больших доз облучения на гелиевый блистеринг
Блистеринг металлов при облучении ионами водорода
Блистеринг в монокристалле меди, облученной ионами неона
Образование микропор при облучении никеля ионами никеля
Список литературы к главе 6
Оглавление
Приведены закономерности изменения коэффициентов эмиссии электронов, фотонов и атомов от различных параметров, характеризующих ион и атом мишени. Изложены механизмы и теории, описывающие названные процессы, которые происходят в многочисленных ионных, ионно-плазменных, электровакуумных приборах и установках. Проведено сравнение теоретических значений коэффициентов распыления для многих элементов с экспериментальными данными. Потери энергии и пробег ионов в твердых веществах
Общие сведения
Экспериментальные данные о потери энергии ионов в веществах
Потери энергии в упругих и неупругих соударениях ионов с атомами твердого тела
Основы теории пространственных распределений выделенной энергии, дефектов и пробегов ионов в твердых веществах
Сечение упругого рассеяния атомов
Неупругое торможение ионов и атомов
Пробеги и распределение энергии и внедренных ионов по глубине твердых веществ при ионной имплантации
Влияние на пространственное распределение имплантированных ионов кристаллической структуры твердого тела и параметров облучения
Теория внедрения атомов с учетом диффузии, распыления и градиента температуры
Гигантское усиление миграции атомов в металлах под действием, высокоинтенсивных (40-200 А/см“) наносекундных ионных пучков
Образование и рост приповерхностных слоев с выделениями новой фазы при ионной имплантации
Пороговая энергия эффекта «дальнодействия» при ионной имплантации
Взаимодействие мощных импульсных пучков ионов с твердыми веществами
Компьютерное моделирование ионного распыления, торможения и распределения внедрившихся ионов по глубине твердых материалов
Технологические возможности ионной имплантации металлов с энергией 10-50 МэВ
Список литературы к главе 1
Отражение (рассеяние) ионов от поверхности твердого тела
Коэффициенты отражения атомных частиц и их энергии
Зарядовое состояние отраженных поверхностью атомных частиц
Энергетические спектры отраженных ионов и атомов
Влияние состояния поверхности на рассеяние атомных частиц
Список литературы к главе 2
Ионно-электронная эмиссия
Ионно-электронная эмиссия поликристаллов и аморфных веществ
Зависимость коэффициента гамма (у) от скорости ионов
Зависимость коэффициента у от энергии ионов
Зависимость коэффициента ионно-электронной эмиссии от угла падения ионов
Энергетическое распределение вторичных электронов
Список литературы к главе 3
Излучение фотонов при ионной бомбардировке
Ионолюминесценция
Ионно-фотонная эмиссия
Непрерывное оптическое излучение из зоны воздействия ионных пучков
Список литературы к главе 4
Ионное распыление
Закономерности процесса физического распыления металлов ионами
Формулы для расчета коэффициентов распыления
Распыление углеситалла и боросодержащих графитов
Список литературы к главе 5
Вспучивание и шелушение поверхности (блистеринг и флекинг)
Общие сведения
Основные закономерности блистеринга и флекинга
Теория и модели механизма блистеринга
Радиационная эрозия конструкционных материалов
Модель разрушения приповерхностного слоя ионами
Факторы, определяющие величину радиационной эрозии
Влияние больших доз облучения на гелиевый блистеринг
Блистеринг металлов при облучении ионами водорода
Блистеринг в монокристалле меди, облученной ионами неона
Образование микропор при облучении никеля ионами никеля
Список литературы к главе 6
Оглавление