Плазменные процессы и технологии - демонстрационный материал к курсу лекций на кафедре ТПиМЭТ, ИГХТУ

Статья

формат ppt
размер 16.32 МБ
добавлен 11 января 2012 г.

Плазменные процессы и технологии - демонстрационный материал к курсу лекций на кафедре ТПиМЭТ, ИГХТУ

Презентации к курсу, читавшемуся нам на 2-ом году обучения. Может кому-нибудь будет это просто интересно ну или пригодится :)

Краткое содержание:
Что такое плазма? Основные понятия и определения. Место и роль плазменных процессов в технологии микроэлектроники.
Место и роль плазмохимических процессов в технологии микроэлектроники. Активные частицы плазмы. Процессы образования и гибели активных частиц.
Транспорт активных частиц. Уравнение непрерывности.
Пространственное распределение частиц в реакторе. Баланс мощности плазмохимического реактора.
Взаимодействие активных частиц плазмы с поверхностью: понятие и кинетика гетерогенного взаимодействия
Практические аспекты ПХТ (Области использования и материалы; Рабочие газы и их характеристики; Технологические параметры процессов)
Практические аспекты ПХТ (Типы разрядов, способы генерации плазмы)
Практические аспекты ПХТ (Типы травления и конструкции плазмохимических реакторов. Методы контроля плазменных процессов)

Похожие разделы

Смотрите также

Конспект лекций для 1 семестра - Механика, молекулярная физика и термодинамика

формат doc
размер 439.78 КБ
добавлен 16 ноября 2009 г.

Конспект лекций для 1 семестра изучения курса «Физика» тема: Механика, молекулярная физика и термодинамика. Содержание. Механика и элементы специальной теории относительности. Основы молекулярной физики и термодинамики. Библиографический список. Кинематика поступательного и вращательного движений материальной точки. Кинематические характеристики движения материальной точки. Тангенциальная и нормальная составляющие ускорения. Основная задача кине...

Лекции - Атомная и ядерная физика

формат pps
размер 27.38 МБ
добавлен 21 декабря 2010 г.

Лекции раздела "Атомная и ядерная физика" из курса общей физики, предназначенные для непрофильных специальностей: "Информационные системы", "Информатика и вычислительная техника", "Программное обеспечение вычислительной техники и автоматизированных систем", "Информационные системы и технологии". Южно-Уральский институт управления и экономики, 9 лекций. Представлены в виде презентации и используется в качестве пособия.rn

Лекции - Волновая оптика, Элементы квантовой механики

формат ppt
размер 18.61 МБ
добавлен 15 июня 2009 г.

Лекции представлены в виде презентаций, разработанных в Таганрогском Технологическом Институте на кафедре физики. Для технических специальностей. Темы: Электромагнитные волны, Преломление, Интерференция, Дифракция, Излучение, Фотоны, Гипотеза Де-Бройля, Теория атома водорода. С разобранными задачами по физике по каждому разделу.

Лекции по дифракции

Статья

формат pdf
размер 256.01 КБ
добавлен 18 января 2011 г.

Автор неизвестен. Материал по курсу оптической физики. - 13 с. Теория дифракции Фраунгофера. Дифракция на прямоугольном отверстии. Дифракция на длинной щели. Дифракция на круглом отверстии. Многолучевая интерференция. Радарная гребёнка. Дифракционная решётка.

Лекции по микроэлектродинамике

Статья

формат pdf
размер 915.98 КБ
добавлен 21 января 2011 г.

Автор неизвестен. В книге кратко изложен материал по курсу " теория поля" Также в приложении выписаны основные положения Векторного, тензорного анлиза, СТО и Релятмеха.

Лекции по термодинамике

Статья

формат pdf
размер 297.7 КБ
добавлен 18 января 2011 г.

Автор неизвестен. - 23 с. Первое начало термодинамики. Внутренняя энергия. Теплоёмкость. Температура. Процессы. Уравнение адиабаты. Политропические процессы. Вычисление работы при различных процессах. Коэффициент полезного действия тепловой машины. Энтропия идеального газа. Второе начало термодинамики. Цикл Карно. Термодинамическая температура. Примеры необратимых процессов.

Лекции по физике

формат doc
размер 6.1 МБ
добавлен 30 января 2010 г.

Содержание курса лекций по общей физике (Воронова И. Н. ): Лекция№1 предмет физики. Физические измерения. обработка результатов измерения. Лекция№2 основы кинематики поступательного и вращательного движения. Лекция№3 основы специальной теории относительности. Лекция№4 основы классической динамики. Силы. Лекция№5 нефундаментальные взаимодействия. Лекция№6 механическая работа. Мощность. Механическая энергия. Лекция№7 динамика вращательного движения...

Лекции по физике (2 семестр)

формат jpg
размер 15.79 МБ
добавлен 21 июня 2008 г.

Ряхова О.Г. Электричество и магнетизм. Фотки рукописных лекций. Отличное качество изображения. rn

Лекции с задачами по механике, термодинамике и электростатике

формат ppt
размер 30.37 МБ
добавлен 18 июня 2009 г.

Лекции представлены в виде презентаций, разработанных в Таганрогском Технологическом Институте на кафедре физики. Для технических специальностей. Темы: Кинематика, Динамика, Работа и энергия, Механика твердого тела, СТО, основные понятия термодинамики, Функции распределения, Энтропия, Электростатическое поле в вакууме. С разобранными задачами по физике по каждому разделу.

Georgi, Howard. Physics 16 - Mechanics and Special Relativity (англ.)

Статья

формат pdf
размер 4.42 МБ
добавлен 10 июля 2011 г.

Курс лекций (27 лекций) для студентов Гарвардского колледжа. В виде отдельных файлов доступен на сайте , был ли издан - неизвестно. В данном варианте лекции собраны составителем (olexx1) в один файл с гиперссылками в оглавлении для перехода к выбранной лекции. Очень живо, интересно и современно написанный курс лекций для первокурсников из Гарварда. Примерно соответствует курсу механики и теории относительности для российских физиков-первокурсник...