Панфилович К.Б. и др. Физические основы вакуумной техники

Учебное пособие. / К.Б. Панфилович, П. И. Бударин, А. Х. Садыков. — Казань: Изд-во Казан. гос технол. ун-та, 2008. — 134 с. Содержит краткое изложение основ теории, описание экспериментальных стендов, методик проведения измерений и обработки опытных данных.
Предназначен для студентов третьего и четвертого курсов специальности «Вакуумная техника электрофизических установок».
Подготовлен на кафедре вакуумной техники электрофизических установок.