1983г., 48 с.
Настоящий стандарт устанавливает методы расчета и удельные нормы расхода основных и вспомогательных материалов, в том числе драгоценных металлов, для изделий микроэлектроники - тонкопленочных, толстопленочных и полупроводниковых микросборок.
Настоящий стандарт устанавливает методы расчета и удельные нормы расхода основных и вспомогательных материалов, в том числе драгоценных металлов, для изделий микроэлектроники - тонкопленочных, толстопленочных и полупроводниковых микросборок.