Ежемесячный междисциплинарный теоретический и прикладной
научно-технический журнал «Нано- и микросистемная техника».
Журнал включен в Перечень научных и научно-технических изданий ВАК России с апреля 2003 г. С мая 2003 г. журнал выпускается при научно-методическом руководстве Отделения информационных технологий и вычислительных систем РАН. Содержание номера:
Мальцев П.П., Бочаров Л.Ю. - Характеристика состояния и хода реализации американской программы исследований и разработок в области нанотехнологий.
Агеев О.А. и др. - Определение геометрических параметров массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом атомно-силовой микроскопии.
Ичкитидзе Л.П. и др. - Объемный композитный наноматериал на основе белка и углеродных нанотрубок.
Мустафаев А.Г. и др. - Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов.
Раткин Л.С. - Современные технологии производства МЭМС.
Войцеховский А.В. и др. - Типы детекторов терагерцового излучения.
Матюшкин И.В. - Оценка времени деградации заряда на нанокристаллах Si в элементах флэш-памяти.
Акопьян В.А. и др. - Эффективность пьезоэлектрических генераторов кантилеверного типа. Теоретические оценки и экспериментальные результаты.
Алфимов С.М. - Микроробототехника специального назначения: состояние и тенденции развития.
Contents.
Журнал включен в Перечень научных и научно-технических изданий ВАК России с апреля 2003 г. С мая 2003 г. журнал выпускается при научно-методическом руководстве Отделения информационных технологий и вычислительных систем РАН. Содержание номера:
Мальцев П.П., Бочаров Л.Ю. - Характеристика состояния и хода реализации американской программы исследований и разработок в области нанотехнологий.
Агеев О.А. и др. - Определение геометрических параметров массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом атомно-силовой микроскопии.
Ичкитидзе Л.П. и др. - Объемный композитный наноматериал на основе белка и углеродных нанотрубок.
Мустафаев А.Г. и др. - Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов.
Раткин Л.С. - Современные технологии производства МЭМС.
Войцеховский А.В. и др. - Типы детекторов терагерцового излучения.
Матюшкин И.В. - Оценка времени деградации заряда на нанокристаллах Si в элементах флэш-памяти.
Акопьян В.А. и др. - Эффективность пьезоэлектрических генераторов кантилеверного типа. Теоретические оценки и экспериментальные результаты.
Алфимов С.М. - Микроробототехника специального назначения: состояние и тенденции развития.
Contents.