Минск: Беларус. навука, 2012г.- 257с . Рассмотрены принципы
формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные
физико-механические свойства, технологические методы получения
пленарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные
универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в
электростатических, электротоковых и других микроактюаторах.
Определены основные закономерности соотношения входных и выходных
параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена
классификация электростатических микроустройств по конструктивному
исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным
аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных
отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и
др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и
преподавателей радиотехнических специальностей вузов.
