Модернизация вакуумной установки типа УВМ-1200 для нанесения покрытий на внешнюю силовую оболочку кислородных баков космических аппаратов

Автор работы, ВУЗ, год - неизвестны. 84с. Введение
Специальная часть
Вакуумные ионно-плазменные методы нанесения покрытий
Плазмохимическое газофазное осаждение (ПХГО)
Физическое газофазное осаждение (ФГО)
Методы, реализующие процесс испарения
Методы, реализующие процесс распыления
Магнетронные распылительные системы
Цилиндрические коаксиальные магнетронные системы
Магнетронные системы с плоским катодом
МРС со сбалансированным магнитным полем
МРС с несбалансированным магнитным полем
Несбалансированные МРС с двумя магнетронами
МРС с устройствами для дополнительной ионизации газа
МРС с импульсным питанием
МРС с биполярным питанием
Дуальное магнетронное распыление
Сущность модернизации
Конструкторско-технологическая часть
Общие сведения об установке вакуумной металлизации (УВМ-1200)
Разработка магнетронной распылительной системы
Модернизация откачной системы
Разработка системы газонапуска
Разработка аксиального установочного устройства
Разработка системы ионной очистки поверхности
Охрана труда
Электробезопасность
Пожарная безопасность
Меры безопасности при обращении с газовыми баллонами
Защита от электромагнитных полей
Экологическая часть
Влияние электромагнитных полей на экологию
Заключение
Список литературы
Приложение. Спецификация на магнетрон