СГТУ 2013 36стр.
Введение
Принцип действия и рабочие параметры МРС
Конструкции магнетронных распылительных систем
Моделирование процесса магнетронного напыления многокомпонентных высокотемпературных сверхпроводников
Заключение
Список используемой литературы
Принцип действия и рабочие параметры МРС
Конструкции магнетронных распылительных систем
Моделирование процесса магнетронного напыления многокомпонентных высокотемпературных сверхпроводников
Заключение
Список используемой литературы