СПб.: СПбГУ ИТМО, 2010. - 121 с.
Изложены основные представления о процессах роста кристаллов.
Описаны основные методы выращивания монокристаллов и законы
распределения в них примесей. Курс лекций написан с использованием
курса лекций профессора A.А.Майера, прочитанных им в стенах
московского химико-технологического института им. Д.И. Менделеева.
Оглавление:
Методы выращивания монокристаллов
Выращивание монокристаллов из расплава
Методы направленной кристаллизации
Метод Обреимова-Шубникова
Метод Бриджмена
Метод Стокбаргера
Распределение примесей в кристаллах, выращенных из расплава методом направленной кристаллизации
Эффективный коэффициент распределения
Распределение примеси при направленной кристаллизации
Концентрационное переохлаждение
Образование ячеистой и субструктуры при концентрационном переохлаждении
Значение формы фронта кристаллизации
Форма фронта кристаллизации и распределение примесей по поперечному сечению монокристалла
Выращивание монокристаллов методом вытягивания из расплава
Метод Чохральского
Способы нагрева при выращивании монокристаллов методом вытягивания из расплава
Условия, необходимые для успешного выращивания кристаллов методом Чохральского
Форма кристалла, выращенного по методу Чохральского
Регулирование распределения примесей по длине кристалла.
Некоторые особые случаи применения метода Чохральского
Достоинства метода Чохральского
Недостатки метода Чохральского
Метод Киропулосa.
Зонная плавка
Принцип и области применения зонной плавки
Области применения зонной плавки
Зонная очистка
Методы нагрева при зонной плавке
Использование нагревателей сопротивления
Индукционный нагрев
Нагрев излучением лампы накаливания и электроннолучевой нагрев
Нагрев за счет эффекта Пельтье
Зонная плавка при наличии летучего компонента
Метод плавающей зоны
Выращивание монокристаллов методом зонной плавки
Зонное выравнивание
Метод Вернейля
Швейцарский способ
Чешский метод
Образование дефектов в кристаллах, растущих из расплава
Выращивание монокристаллов из растворов
Кристаллизация из водных растворов и растворов органических жидкостей при нормальном давлении
Гидротермальный метод выращивания монокристаллов
Выращивание монокристаллов из раствора в расплаве.
Выращивание монокристаллов из газовой фазы
Кристаллизация с участием химической реакции.
Достоинства и недостатки методов выращивания монокристаллов из газовой фазы
Ориентированное нарастание кристаллических веществ (эпитаксия)
Методы выращивания монокристаллов
Выращивание монокристаллов из расплава
Методы направленной кристаллизации
Метод Обреимова-Шубникова
Метод Бриджмена
Метод Стокбаргера
Распределение примесей в кристаллах, выращенных из расплава методом направленной кристаллизации
Эффективный коэффициент распределения
Распределение примеси при направленной кристаллизации
Концентрационное переохлаждение
Образование ячеистой и субструктуры при концентрационном переохлаждении
Значение формы фронта кристаллизации
Форма фронта кристаллизации и распределение примесей по поперечному сечению монокристалла
Выращивание монокристаллов методом вытягивания из расплава
Метод Чохральского
Способы нагрева при выращивании монокристаллов методом вытягивания из расплава
Условия, необходимые для успешного выращивания кристаллов методом Чохральского
Форма кристалла, выращенного по методу Чохральского
Регулирование распределения примесей по длине кристалла.
Некоторые особые случаи применения метода Чохральского
Достоинства метода Чохральского
Недостатки метода Чохральского
Метод Киропулосa.
Зонная плавка
Принцип и области применения зонной плавки
Области применения зонной плавки
Зонная очистка
Методы нагрева при зонной плавке
Использование нагревателей сопротивления
Индукционный нагрев
Нагрев излучением лампы накаливания и электроннолучевой нагрев
Нагрев за счет эффекта Пельтье
Зонная плавка при наличии летучего компонента
Метод плавающей зоны
Выращивание монокристаллов методом зонной плавки
Зонное выравнивание
Метод Вернейля
Швейцарский способ
Чешский метод
Образование дефектов в кристаллах, растущих из расплава
Выращивание монокристаллов из растворов
Кристаллизация из водных растворов и растворов органических жидкостей при нормальном давлении
Гидротермальный метод выращивания монокристаллов
Выращивание монокристаллов из раствора в расплаве.
Выращивание монокристаллов из газовой фазы
Кристаллизация с участием химической реакции.
Достоинства и недостатки методов выращивания монокристаллов из газовой фазы
Ориентированное нарастание кристаллических веществ (эпитаксия)