Минск: Белорусский государственный университет, 2002. - 19 с.
Рассмотрены: методы химического осаждения покрытий, получение
пленок распылением материала ионной бомбардировкой, методы
генерации потока осажденного вещества термическим испарением.
Даны сравнительные характеристики различных методов получения тонких пленок.
Даны сравнительные характеристики различных методов получения тонких пленок.