Нью-Йорк. 1970. Пер. с англ. Под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. —
М.: Сов. радио, 1977. — 664 с.
Справочник по технологии тонких плёнок - наиболее современное и
фундаментальное издание, посвящённое тонким плёнкам твёрдых
веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике,
магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. В этот том
включены главы 1-7
Читатель найдёт тут исчерпывающие справочные данные по различным методам получения твёрдых плёнок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения плёнок путём ионного распыления)
Читатель найдёт тут исчерпывающие справочные данные по различным методам получения твёрдых плёнок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения плёнок путём ионного распыления)