Учебное пособие. - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2009. - 50 с.
В учебном пособии рассматриваются физические возможности измерения
температуры, используемые в микросистемной технике (МСТ), и
возможности их интегральной реализации. В частности, подробно
описываются активные сенсоры температуры на основе
термоэлектричества (эффект Зеебека), пассивные способы, основанные
на измерении термозависимости различных типов резисторов и
параметров транзисторов. Рассматривается также использование
фиксации изменения температуры как промежуточный этап
преобразований в сенсорах других типов: расходомерах,
акселерометрах, химических анализаторах.
Краткое содержание:
Введение.
Термоэлектрические сенсоры температуры.
Резистивные сенсоры температуры.
Полупроводниковые сенсоры температуры.
Пьезоэлектрические датчики температуры.
Использование сенсоров температуры в комбинации с другими преобразователями.
Бесконтактное измерение температуры.
Библиографический список.
Введение.
Термоэлектрические сенсоры температуры.
Резистивные сенсоры температуры.
Полупроводниковые сенсоры температуры.
Пьезоэлектрические датчики температуры.
Использование сенсоров температуры в комбинации с другими преобразователями.
Бесконтактное измерение температуры.
Библиографический список.