Лапшинов Б.А. Нанесение тонких пленок методом вакуумного термического испарения

Методические указания к лабораторной работе по дисциплинам: "Технология материалов и изделий электронной техники" и "Технология создания технических систем". — М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2006. — 30 с. — ISBN 5-94506-133-6. Содержанием работы является закрепление теоретических знаний, получаемых на лекционных занятиях, знакомство с конструкцией и принципами работы на технологической установке нанесения тонких пленок и проведение исследований влияния режимов процесса вакуумного термического испарения на параметры формируемой пленки.