Спецпрактикум. — М.: МГУ, 2011. — 40 с.
Содержание:
Введение
Цель и объекты работы
Методы выполнения работы
Порядок выполнения работы
Теоретическая часть
Основные типы химических реакций, используемых в методе CVD
Летучие исходные соединения (прекурсоры) для CVD
Аппаратура для MOCVD
Кинетические аспекты осаждения из газовой фазы
Основные представления об эпитаксии
Экспериментальная часть
Синтез летучих прекурсоров K, Ca, Mg, РЗЭ, Y, Pb, Ti, Zr, Nb, Mn, Co, Ni
Анализ и идентификация полученных прекурсоров
MOCVD пленок
Анализ полученных пленок
Требования к составлению отчёта
Контрольные вопросы
Рекомендуемая литература
Введение
Цель и объекты работы
Методы выполнения работы
Порядок выполнения работы
Теоретическая часть
Основные типы химических реакций, используемых в методе CVD
Летучие исходные соединения (прекурсоры) для CVD
Аппаратура для MOCVD
Кинетические аспекты осаждения из газовой фазы
Основные представления об эпитаксии
Экспериментальная часть
Синтез летучих прекурсоров K, Ca, Mg, РЗЭ, Y, Pb, Ti, Zr, Nb, Mn, Co, Ni
Анализ и идентификация полученных прекурсоров
MOCVD пленок
Анализ полученных пленок
Требования к составлению отчёта
Контрольные вопросы
Рекомендуемая литература