А. И. Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко и др. - М.:
Машиностроение, 1991. — 176 с: ил.
Изложены основы технологии получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической н термической подготовке поверхностей подложек и внутрикамерных устройств. Рассмотрено получение покрытий ионным и термическим напылением металлов к сплавов, карбидов, нитридов и их аналогов.
Изложены основы технологии получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической н термической подготовке поверхностей подложек и внутрикамерных устройств. Рассмотрено получение покрытий ионным и термическим напылением металлов к сплавов, карбидов, нитридов и их аналогов.