Коншина Е.А. Структурные особенности и оптические свойства тонких слоев аморфного гидрогенизированного углерода

Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. Работа выполнена в Государственном оптическом институте им. С.И. Вавилова и в Центре Информационные оптические технологии Санкт-Петербургского государственного университета информационных технологий, механики и оптики. Санкт-Петербург, 2009, 34с.
Специальность 01 04 05 – оптика Основной целью диссертационной работы являются исследования оптических свойств тонких пленок аморфного гидрогенизированного углерода, полученных в CVD-процессе с помощью плазмы, а также получение новых знаний о влиянии структурных особенностей и содержания связанного водорода в пленках на эти свойства.
В основные задачи диссертации входили следующие фундаментальные исследования:
закономерностей изменения оптических постоянных тонких пленок а-С:Н в широких пределах при вариации кинетики процесса химического осаждения пленок из паров углеводородов в плазме тлеющего разряда;
закономерностей изменения оптического поглощения в видимой и ИК областях спектра, а также ширины оптической щели тонких пленок а-С:Н;
взаимодействия лазерного излучения с пленками a-C:H, прозрачными в ИК области;
механизма физико-химического взаимодействия полимероподобных пленок на основе a-C:H с жидкими кристаллами.