Комаров Ф.Ф. Ионная и фотонная обработка материалов

Учебное пособие. - Мн: БГУ, 1998. - 209с. В пособии изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирования заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные об оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов и изменения свойств ионноимплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Учебное пособие рекомендуется студентам университетов и технических вузов при изучении физики полупроводниковых материалов, физики твердого тела, физической электроники, микроэлектроники, методов математической физики.