Кашапов Н.Ф., Шарифуллин С.Н., Тополянский П.А., Файрушин И.И., Лучкин А.Г. Комплексные плазменные технологии на основе плазмохимических процессов для получения многофункциональных беспористых покрытий с повышенными физико-механическими и эксплуатационным

Технологии упрочнения, нанесения покрытий и ремонта: теория и практика: Материалы 18-й Международной научно-практической конференции: СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2016, 358 с., С. 346-353
Рассмотрено получение многофункциональных тонкопленочных покрытий с повышенными физико-механическими и эксплуатационными свойствами с применением плазменных технологий, в которых используется низкотемпературная плазма высокочастотного магнетронного разряда, дугового разряда атмосферного давления (процесс финишного плазменного упрочнения), высокочастотного индукционного разряда низкого давления и трибоплазмы в узле трения с присутствием трибопрепарата. Синтез многофункциональных покрытий основан на плазмохимических процессах. Повышенными физико-механическими и эксплуатационными свойствами покрытий являются низкий коэффициент трения, высокая твердость, прочность, износостойкость, коррозионная, абразивная и эрозионная стойкость, усталостная прочность.