Карханіна Н.Я. Технологія напівпровідникових матеріалів

Учбовий посібник. — К.: Державне видавництво технічної літератури, 1961. – 327 с. Висвітлені фізичні основи технології напівпровідників, наведені приклади, схеми, практичні поради, рецепти, вміщені відомості про найважливіші елементарні напівпровідники і сполуки. Для студентів спеціалізації фізики напівпровідників і напівпровідникової електроніки, а також може бути корисною для осіб, які цікавляться теоретичними і практичними питаннями виготовлення напівпровідникових приладів. Передмова.
Огляд теоретичних основ технології напівпровідників
Визначення предмета і задач технології напівпровідників.
Електропровідність твердих тіл.
Деякі питання з основ квантової механіки і зонної теорії.
Деякі питання теорії хімічного зв’язку.
Домішки і дефекти в кристалах напівпровідників.
Основні відомості про властивості напівпровідників
Загальні відомості.
Елементарні напівпровідники.
Напівпровідникові сполуки.
Загальна характеристика матеріалів і методів очистки
Характеристика матеріалів напівпровідникового виробництва.
Методи очистки напівпровідникових матеріалів.
Методи перекристалізації і контроль властивостей перекристалізованих матеріалів
Методи перекристалізації.
Одержання монокристалів з рівномірним розподілом домішок.
Методи контролю структурної досконалості і чистоти напівпровідникових кристалів.
Методи одержання і виявлення заданого нерівномірного розподілу домішок в кристалі
Основні методи одержання р-n-переходів.
Виявлення р-n-переходів.
Обробка поверхні напівпровідників
Механічна обробка кристалів.
Хімічне та електролітичне травлення і полірування.
Одержання чистої поверхні напівпровідників.
Утворення електричного контакту з напівпровідником
Контакт металу з напівпровідником.
Способи утворення контактів.
Література