Тезис доклада. 6-я Междунар науч.-техн. конф. Энерго- и
материалосберегающие экологически чистые технологии. – Гродно,
ГрГУ, 2005. – с. 56-57.
Авторы: Хомич Н.С., Кухто П.В., Луговик А.Ю., Федорцев Р.В.,
Власенко Е.П.
Аннотация:
Использование магнитного поля при финишной обработке монокристаллов кремния приводит к улучшению обрабатываемости материала за счет уменьшения предела текучести, а также к более интенсивному выходу дислокаций на поверхность и уменьшению количества
линейных дефектов кристаллической структуры. Магнитно-абразивная обрбаотка позволяет получить поверхность с характеристикой шероховатости Ra=0,8-2 нм, не вызывая образования дефектного поверхностного слоя [2] и необходимости его удаления химическими методами.
Использование магнитного поля при финишной обработке монокристаллов кремния приводит к улучшению обрабатываемости материала за счет уменьшения предела текучести, а также к более интенсивному выходу дислокаций на поверхность и уменьшению количества
линейных дефектов кристаллической структуры. Магнитно-абразивная обрбаотка позволяет получить поверхность с характеристикой шероховатости Ra=0,8-2 нм, не вызывая образования дефектного поверхностного слоя [2] и необходимости его удаления химическими методами.