Ермакова Е.Н. Плазмохимический синтез тонких слоев карбонитрида кремния из паров кремнийорганических соединений

Диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук. – Новосибирск, ИНХ им. А.В. Николаева СО РАН, 2014. – 161 с. Специальность 02.00.04 – физическая химия Цель работы. Исследование физико-химических свойств летучих кремнийорганических предшественников класса дисилазанов и органилсиланов, плазмохимический синтез пленок системы Si−C−N−H, определение зависимостей их элементного состава и химического строения от условий синтеза и типа используемого предшественника, исследование влияния химического состава пленок на их функциональные свойства, а также определение перспективных направлений их использования.