Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы с электромагнитами

Автореферет дисс. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук. Томск- 2011, 22с. Специальность 05.27.02 - вакуумная и плазменная электроника Работа выполнена в Учреждении Российской академии наук Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН Цель работы состояла в разработке методов, технологий и эффективного технологического оборудования, в том числе МРС для нанесения энергосберегающих (низкоэмиссионных и электрохромных) тонкопленочн...

Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных...

М.: ФИЗМАТЛИТ, 2006. - 576 с. - ISBN: 5-9221-0681-3 Описана иерархия «газовых» моделей классической неплотной плазмы. В рамках этих моделей рассматриваются основные плазменные системы и их практическая реализация: равновесные конфигурации, линейные и ударные волны, стационарные течения, элементы плазмохимии и принципы плазменных лазеров. Дано описание ряда космических объектов: планетарных вихрей, магнитосферы Земли, Солнца. В конце книги описан...

М.: ФИЗМАТЛИТ, 2006 Г. — 576 с. Описана иерархия «газовых» моделей классической неплотной плазмы. В рамках этих моделей рассматриваются основные плазменные системы и их практическая реализация: равновесные конфигурации, линейные и ударные волны, стационарные течения, элементы плазмохимии и принципы плазменных лазеров. Дано описание ряда космических объектов: планетарных вихрей, магнитосферы Земли, Солнца. В конце книги описаны прикладные плазмо...

1 Составление расчётной схемы плазмотрона 2 Расчёт плазмотрона: расчёт рабочих параметров и геометрических размеров плазмотрона; расчёт системы охлаждения.; расчёт ресурса работы плазмотрона 3 Определение характеристик плазмотрона: вольтамперная характеристика; тепловые характеристики 4 Выбор источника питания плазмотрона 5 Технологическое применение плазмотрона 6 Исследование зависимости напряжения дуги плазмотрона от диаметра его разрядного...

1 Составление расчётной схемы плазмотрона 2 Расчёт плазмотрона: расчёт рабочих параметров и геометрических размеров плазмотрона; расчёт системы охлаждения.; расчёт ресурса работы плазмотрона 3 Определение характеристик плазмотрона: вольтамперная характеристика; тепловые характеристики 4 Выбор источника питания плазмотрона 5 Технологическое применение плазмотрона 6 Исследование зависимости электрической мощности плазмотрона от расстояния между...

Статья. Опубликована в сборнике научных трудов Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов. Х., ХАИ, 2010, с. 280-295. В работе выполнены комплексные исследования надежности и долговечности систем инициирования вакуумно-дугового разряда в технологических источниках плазмы различного типа: контактные с искровым поверхностным пробоем, двухступенчатые системы запуска с автономным плазменным инжектором и системы поджига, о...

Wiley, New York, 2000, 312 c. В книге сначала представлено введение о принципах и разрядных системах, используемых для плазменного осаждения пленок. Затем приведена кинетическая теория газов. Рассмотрены механихмы адсорбции и конденсации на поверхности. Дается краткий обзор о вакуумных системах, способах создания и контроля вакуума. Описаны источники, основанные на испарении, распылительные системы (RF, DC, магнетронные), а также механизмы, участ...

San Diego, Academic Press, 1999, 419 p. Рассмотрены различные конструкции плазменных распылительных систем для осаждения тонких пленок, а также происходящие в них физические процессы. Кроме Введения, содержит следующие главы: 1) Физика распыления 2) Плазменные системы 3) Планарный магнетрон 4) Распылительные устройства 5) Направленное осаждение 6) Планаризованное PVD: использование повышенных температур и/или высокого давления 7) Ионизованное маг...

Springer, Berlin, 1999, 476 c. Приведен обзор физических основ газовых разрядов, используемых для создания источников ионов. Книга содержит следующие разделы: 1) Основы газовых разрядов 2) Системы экстракции для ионных источников 3) Источники положительных ионов 4) Гигантские ионные источники 5) Источники многозарядных ионов 6) Масс- и энергетические спектры ионных источников 7) Источники отрицательных ионов 8) Самонейтрализация пучков пространст...