Дудкин А.А., Садыхов Р.Х. Обработка изображений в проектировании и производстве интегральных схем

Минск: ОИПИ НАН Беларусия 2008. — 268 с. Рассматриваются методы и алгоритмы обработки изображений, которые являются составной частью современной технологии проектирования и производства интегральных схем, начиная с разработки фотошаблонов и заканчивая контролем изготовления. Приведены полученные авторами результаты для выполнения основных этапов обработки изображений, ориентированных на локализацию и контроль дефектов: предварительная обработка, идентификация объектов топологии и получение их описаний. Разработанные методы и алгоритмы фильтрации, выделения информативных признакови идентификации объектов позволили создать оригинальные технологии обработки, которые значительно повышают быстродействие систем обработки изображений топологии интегральных схем при той же достоверности идентификации.