Дружков С.С. Разработка технологических мероприятий по повышению эффективности процесса магнетронного напыления 3D-нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Рыбинск, Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П.А. Соловьева, 2012, 16 с. Специальность 05 02 07 – Технология и оборудование механической и физико-технической обработки Целью работы является разработка технологических мероприятий по повышению эффективности процесса магнетронного напыления упрочняющих 3D-нанокомпозитных покрытий путём повышения производительности установки ионно-плазменного магнетронного синтеза упрочняющих покрытий по симплексу скорости осаждения покрытия.
Для достижения поставленной цели в работе решаются следующие задачи:
Анализ современных подходов к математическому описанию процессов ионно-плазменного синтеза упрочняющих покрытий;
Формализация влияния технологических условий осуществления процесса магнетронного распыления на формирование давления газа в вакуумной камере;
Разработка математической модели скорости осаждения покрытия;
Выполнение оптимизации параметра давления газа по симплексу скорости осаждения покрытия;
Разработка программного модуля параметрической оптимизации давления газа под различные условия реализации процессов ионно-плазменного магнетронного синтеза упрочняющих покрытий;
Практическая апробация результатов работы.