Дорофеев С.Г., Васильев Р.Б. Вакуумное напыление тонкопленочных структур

Практикум. — М.: МГУ, 2011. — 18 с. Введение
Теоретическая часть
Методы вакуумного нанесения пленок.
Расчет формы маски для заданного профиля толщины пленки при осаждении на вращающуюся подложку.
Тест.
Экспериментальная часть
Получение керамических таблеток Al₂O₃.
Расчет формы маски для напыления пленок исходя из профиля.
Напыление металлических пленок методом джоулевого нагрева.
Напыление пленок корунда методом электронно-лучевого испарения.
Измерение толщины полученных пленок методом степ-профилометрии.
Исследование фазового состава пленок методом рентгеновской дифракции.
Изготовление образца для электрофизических измерений (конденсатора).
Исследование электрофизических свойств полученных пленок методом спектроскопии импеданса.
Тест.
Требования к отчету.
Литература.