Дмитриев В.Д., Меркулов А.И. Техника получения и измерения вакуума и напыления материалов

Методические указания к лабораторной работе. – Самара : СГАУ, 2001. — 23 с. Приводятся сведения о методах удаления газа из откачиваемого объема и измерения степени вакуума. Описаны конструкции и принцип работы вакуумной установки и основных приборов измерения степени вакуума.
Рекомендуются студентам специальности 20.08.00 при изучении дисциплин «Основы микроэлектроники» и «Технологические процессы микроэлектроники». Подготовлены на кафедре МиТРЭА.