Дикарев Ю.И., Владимирова Л.Н., Петраков В.И. Методы измерений общих давлений разреженных газов

Издательско-полиграфический центр Воронежского государственного университета, 2008,
46 стр. Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса среднего профессионального образования для специальности 2001 - "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Пособие включает три раздела: Методы измерения общих давлений; Вакуумметрические приборы промышленного назначения; Измерение низкого и среднего вакуума Введение Методы измерения общих давлений
Классификация методов и приборов
Гидростатические преобразователи
Деформационные преобразователи
Тепловые преобразователи
Электронные ионизационные преобразователи
Магнитные электронные преобразователи
Радиоизотопные преобразователи Вакуумметрические приборы промышленного назначения
Вакуумметры для измерения низкого и среднего вакуума
Вакуумметры и преобразователи давления для измерения высокого и сверхвысокого вакуума Измерение низкого и среднего вакуума (Лабораторные работы 5 – 7)
Лабораторная работа №
5. Измерение вакуума с помощью тепловых манометрических преобразователей сопротивления
Лабораторная работа №
6. Измерение вакуума с помощью термопарного преобразователя
Лабораторная работа №
7. Измерение низкого и сверхнизкого давления в вакуумных системах
Контрольные вопросы
Литература