Целуйко А.Ф., Юнаков Н.Н. Методические указания по термоионному формированию покрытий на основе нитрида титана

Харьков, Препринт НФТЦ 00 - 03, 2000, с.12, рис. 2, библиогр.: 6 наим. В настоящей работе предложен новый метод термоионного осаждения простых и синтезированных покрытий на основе пучково-плазменного разряда с накаливаемым катодом, приведено описание плазменного электронно-лучевого устройства термоионного осаждения, отмечены принципиальные особенности построения данных систем, описан механизм автостабилизации системы, представлены результаты экспериментов по нанесению некоторых покрытий.
Методичні вказівки для студентів III – V курсів за спеціалізацією Плазмові технології