Бурдаков А.В., Бельченко Ю.И. Низкотемпературная плазма. Плазменные технологии

Новосибирск, ИЯФ, 69 слайдов. Использование плазмы в практических целях
Электрический разряд в газах
-Дрейф электронов в слабоионизированной плазме
-Размножение электронов
-Таунсендовская теория пробоя
-Кривая Пашена
-Плазменные дисплеи
Примеры плазменных технологий
-Ионная имплантация
-Высокодозная имплантация
-Установка ионно-лучевого легирования
-Травление в микроэлектронике
-MEMS technology
-Осаждение пленок
-Плазмохимическое осаждение
-Электродуговые плазмотроны
-Плазма в медицине
-Плазменное кильватерное ускорение
-Плазменные двигатели для космических аппаратов