ЧастьII Осаждение при имплантационном легировании с использованием
источника MEVVA
Литературный перевод. Corrosion resistant Ti-Pd surface alloys
produced by high intensity pulsed plasma beams. PartII Deposition
by pulsed implantation doping mode with palladium implantation
using a MEVVA source. Elseiver. Surface & Coatings Technology 200
(2006) 4684–4692
Поверхностный сплав Ti–Pd был получен на титановых фольгах с
использованием мощного плазменного пучка при импульсной имплантации
в среде азота и газа плазмы. В отличие от предыдущей работы,
палладий внедрялся в титановую фольгу при ионной имплантации с
использованием источника для дугового испарения металла в вакууме
(MEVVA). Коррозионная стойкость проверялась путем погружения
образцов в раствор 0.1 M H2SO4 при 80 °C. Эти условия используются
для оценки свойств поверхностной обработки для улучшения
коррозионной стойкости титановых фольг используемых в
электронно-пучковых технологиях для удаления примесей из выхлопных
газов. Фольги показали хорошую коррозионную стойкость относительно
необработанного титана. Улучшение связано со сдвигом потенциала
разомкнутой цепи в диапазон пассивности титана. В течении выдержки
при проверки коррозионной стойкости происходит обогащение палладием
приповерхностного сплава с генерацией наночастиц в связи с anatase
и возможной аморфизацией титана. Формирование наночастиц со слабой
адгезией приводит к потере некоторого количества палладия.
