Учебное пособие. – Томск: Томский межвузовский центр дистанционного
образования, 2006. – 148 с.
Учебное пособие предназначено для студентов специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника», изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника».
В пособии рассматриваются вопросы, относящиеся к эмиссионной элек-тронике, особенностям движения заряженных частиц в электрических и маг-нитных полях, элементарным процессам в плазме и свойствам газового разряда, Излагаемый материал опирается на знания, полученные студентами при изучении курса общей физики, а также дисциплин «Физика твердого тела», «Материалы и элементы электронной техники».
С учетом специфики специальности 210104 в пособие включен раздел «Применение плазменных технологий для осаждения тонких пленок», предназначенный для самостоятельного изучения.
Учебное пособие предназначено для студентов специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника», изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника».
В пособии рассматриваются вопросы, относящиеся к эмиссионной элек-тронике, особенностям движения заряженных частиц в электрических и маг-нитных полях, элементарным процессам в плазме и свойствам газового разряда, Излагаемый материал опирается на знания, полученные студентами при изучении курса общей физики, а также дисциплин «Физика твердого тела», «Материалы и элементы электронной техники».
С учетом специфики специальности 210104 в пособие включен раздел «Применение плазменных технологий для осаждения тонких пленок», предназначенный для самостоятельного изучения.