Перевод с англ., М.: Мир, 1998. – 519 с. (Серия Проблемы прикладной
физики.)
Это третий и последний том книги, публикуемой в серии «Проблемы
прикладной физики» (Topics in Applied Physics), посвященный
всестороннему рассмотрению физики распыления, т. е. вопросов,
связанных с освобождением атомов с поверхности твердого тела (или
жидкости), бомбардируемой высокоэнергетическими частицами. Первый
том (ТАР 47) Бериш Р.
(ред.) Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. 1 -
Физическое распыление одноэлементных твердых тел дает введение
в каскадную столкновительную теорию распыления и обобщает
экспериментальные данные о коэффициентах распыления для аморфных,
поликристаллических и монокристаллических однокомпонентных твердых
тел, бомбардируемых главным образом ионами инертных газов и
водорода. Второй том (ТАР 52) Бериш Р. (ред.) Распыление твердых тел ионной
бомбардировкой. Вып. 2 - Распыление сплавов, соединений, распыление
под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности
посвящен распылению многокомпонентных твердых тел и влиянию
химических эффектов на распыление. Он рассматривает также развитие
ионно-индуцированной поверхностной топографии и распыление не
ионами, а такими частицами, как электроны, фотоны и нейтроны. В
настоящем третьем томе рассматриваются характеристики распыленных
частиц и различные технические применения распыления.
Содержание.
Введение. - Р. Бериш , К. Виттмак
Распределения распыленных частиц по углам, энергиям и массам. - В. Хофер.
Зарядовое состояние и возбуждение распыленных атомов. - М.Ю.
Элементный анализ твердых тел с использованием распыления. - К. Виттмак.
Десорбция органических молекул с поверхностей твердых тел и жидкостей под действием бомбардировки быстрыми частицами. - Бо Сандквист.
Изготовление микроструктур методом распыления ионными пучками. - В. Хауффе.
Изготовление тонких пленок методом управляемого осаждения распыленного материала. - Э. Д. Мак-Кланахан, Н. Легрейд.
Введение. - Р. Бериш , К. Виттмак
Распределения распыленных частиц по углам, энергиям и массам. - В. Хофер.
Зарядовое состояние и возбуждение распыленных атомов. - М.Ю.
Элементный анализ твердых тел с использованием распыления. - К. Виттмак.
Десорбция органических молекул с поверхностей твердых тел и жидкостей под действием бомбардировки быстрыми частицами. - Бо Сандквист.
Изготовление микроструктур методом распыления ионными пучками. - В. Хауффе.
Изготовление тонких пленок методом управляемого осаждения распыленного материала. - Э. Д. Мак-Кланахан, Н. Легрейд.