Ленинград, Политехника, 1991, 287 с. - ISBN 5-7325-0001-4
В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье—Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема.
Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники. Может быть использована инженерно-техническими работниками, специализирующимися в области технологии приборостроения.
Содержание
Проблемы гидродинамики в технологическом процессе изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
Математическое описание гидродинамики и теплообмена при ламинарном и турбулентном режимах течения несжимаемой жидкости
Математическое описание процессов гидродинамики и теплообмена в двухфазных средах
Конечно-разностная аппроксимация и решение исходных дифференциальных уравнений
Расчет гидродинамических процессов формирования рабочей среды
Расчет гидродинамических и массообмеииых процессов в реакторе с пластинами для нанесения покрытия
Список литературы
В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье—Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема.
Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники. Может быть использована инженерно-техническими работниками, специализирующимися в области технологии приборостроения.
Содержание
Проблемы гидродинамики в технологическом процессе изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
Математическое описание гидродинамики и теплообмена при ламинарном и турбулентном режимах течения несжимаемой жидкости
Математическое описание процессов гидродинамики и теплообмена в двухфазных средах
Конечно-разностная аппроксимация и решение исходных дифференциальных уравнений
Расчет гидродинамических процессов формирования рабочей среды
Расчет гидродинамических и массообмеииых процессов в реакторе с пластинами для нанесения покрытия
Список литературы