Статья. Опубликована в ВАНТ, 2007, №06, с.106-115
Приведен краткий аналитический обзор методов подавления эмиссии
микро- и наночастиц, часто называемых макрочастицами или каплями, в
вакуумно-дуговых источниках эрозионной плазмы без применения
фильтрующих систем. Рассмотрены 12 вариантов стационарных и
импульсных плазменных источников, включая классические – с
применением магнитных полей различной конфигурации, с введением в
разрядное пространство реакционных газов, а также нетрадиционные –
с использованием дуги в режиме горячего анода, с шунтирующим
дуговым разрядом.